[發明專利]顆粒狀蒸鍍材及蒸鍍膜的成膜方法以及蒸鍍膜

無效

• 申請號: 201210358607.8
• 申請日: 2012-09-24
• 公開（公告）號: CN103160784A
• 公開（公告）日: 2013-06-19
• 發明（設計）人: 吉田勇氣;櫻井英章
• 申請（專利權）人: 三菱綜合材料株式會社
• 主分類號: C23C14/08
• 分類號: C23C14/08
• 代理公司: 北京德琦知識產權代理有限公司 11018
• 代理人: 康泉;王珍仙

技術領域

本發明涉及一種用于通過真空蒸鍍法以高成膜率且低噴濺成膜蒸鍍膜的顆粒狀蒸鍍材及蒸鍍膜的成膜方法以及利用該蒸鍍材成膜的蒸鍍膜。尤其，本發明涉及一種在例如液晶顯示器、有機EL顯示器或太陽能電池等電子設備或者食品、藥品等的包裝材料等中用于形成具備較高的水蒸氣阻擋性的蒸鍍膜的顆粒狀蒸鍍材及蒸鍍膜的成膜方法以及利用該蒸鍍材成膜的蒸鍍膜。

背景技術

液晶顯示器、有機EL顯示器或太陽能電池等設備通常經不起濕氣，其特性因吸濕而迅速地劣化，因此必須配備具有高防濕性、即防止氧氣或水蒸氣等透過或進入的氣體阻擋性的組件。

例如，在太陽能電池的例子中，在與太陽能電池模塊的受光面相反一側的背面設置有背板。該背板的代表性例子為，由利用蒸鍍材等成膜在基材上的具有高防濕性的水蒸氣阻擋膜和保護它們的部件等構成的背板。并且，除上述太陽能電池等設備以外，在食品和藥品等的包裝材料等中也要求較高的水蒸氣阻擋性，一般廣為人知的是具備水蒸氣阻擋膜的包裝材料等，該水蒸氣阻擋膜通過在塑料的表面蒸鍍氧化硅、氧化鎂、氧化鋁或鋁金屬箔等來成膜。

通常通過電子束蒸鍍法（Electron?Beam?Evaporation?Method，以下稱為EB法）等真空蒸鍍法來形成這種具有水蒸氣阻擋性的膜。關于蒸鍍材的形狀，正在研究開發各種形狀。

例如，專利文獻1～3中分別公開有如下成膜材料，即一種通過投料器向成膜裝置進行供給的成膜材料，由其形狀為主表面是橢圓形狀且具有厚度的橢圓柱形狀或直徑與厚度之比為0.5以上的圓柱形狀或六面體形狀的成膜材料和其他形狀的成膜材料混合而構成，并且是多晶體MgO的燒結體粒料。在上述專利文獻1～3所示的成膜材料中，為了防止在通過材料供給路（投料器）向成膜裝置進行供給時投料器堵塞而著眼于粒料的形狀，并沒有言及到粒料的大小。

并且，分別公開有如下蒸鍍材：為了在通過EB法進行蒸鍍時也不發生噴濺并高速且均勻地進行成膜而粒料被形成為球狀，且晶體粒徑為1～500μm的多晶體MgO蒸鍍材（例如，參考專利文獻4）；及由金屬氧化物的多孔質燒結體構成且該燒結體具有0.2以上且小于3.0%的氣孔率的蒸鍍材（例如，參考專利文獻5）。

上述專利文獻4所示的多晶體MgO蒸鍍材通過如下制造；即通過將平均粒徑為0.1～3μm的MgO粉末放入轉動造粒機的旋轉皿后，進行包含粘合劑的有機溶劑的噴霧來對MgO粉末進行造粒而成型球狀的成型體，并通過反復進行進一步將MgO粉末放入旋轉皿且進行包含粘合劑的有機溶劑的噴霧的作業來使球狀的成型體生長為預定的大小，或者，通過將平均粒徑為0.1～3μm的MgO粉末與粘合劑混勻并解碎，并將解碎的包含粘合劑的MgO粉末放入轉動造粒機的旋轉皿后進行有機溶劑的噴霧來對MgO粉末進行造粒而成型球狀的成型體，并通過反復進行進一步將包含粘合劑的MgO粉末放入旋轉皿且進行有機溶劑的噴霧的作業來使球狀的成型體生長為預定的大小，以預定的溫度燒結生長的成型體。

并且，上述專利文獻5所示的蒸鍍材通過如下制造，即通過在減壓下混合平均粒徑為0.1～10μm的金屬氧化物粉末和粘合劑及有機溶劑來制備金屬氧化物粉末的濃度為45～75質量%的漿料，并在減壓下對該漿料進行噴霧干燥來作為平均粒徑為50～300μm的多孔質造粒粉末，且在減壓下成型多孔質造粒粉末而作為多孔質成型體，并在預定溫度下燒結多孔質成型體來作為金屬氧化物的多孔質燒結體。

專利文獻1：日本專利公開2010-037608號公報（權利要求1、2、圖4）

專利文獻2：日本專利公開2010-037609號公報（權利要求1、2、圖4）

專利文獻3：日本專利公開2010-037610號公報（權利要求1、2、圖4）

專利文獻4：日本專利公開平11-29355號公報（權利要求1、2、4、5、[0025]段、圖1、圖2）

專利文獻5：日本專利公開2008-255480號公報（權利要求1、3、[0011]段）

但是，關于上述以往的專利文獻1～3所示的成膜材料，成型時需要進行沖壓加工，因此耗費時間和成本，并且在成型時的沖壓加工期間有從所使用的模具或夾具混入雜質的可能性。并且，在上述以往的專利文獻4所示的球狀成型體中，使球狀成型體生長至所希望的大小時必須同時投入原料粉末和粘合劑這兩者，由于存在2個參數，因此調整變得困難。另外，在上述以往的專利文獻5所示的多孔質燒結體中，需要進行在減壓下混合成為原料粉末的氧化物粉末、粘合劑及有機溶劑來制備漿料，并且進一步對其進行噴霧干燥的工序，因此制造中會耗費勞力和時間，其結果生產成本增大了。