[發明專利]顆粒狀蒸鍍材及蒸鍍膜的成膜方法以及蒸鍍膜無效
| 申請號： | 201210358607.8 | 申請日： | 2012-09-24 |
| 公開（公告）號： | CN103160784A | 公開（公告）日： | 2013-06-19 |
| 發明（設計）人： | 吉田勇氣;櫻井英章 | 申請（專利權）人： | 三菱綜合材料株式會社 |
| 主分類號： | C23C14/08 | 分類號： | C23C14/08 |
| 代理公司： | 北京德琦知識產權代理有限公司 11018 | 代理人： | 康泉;王珍仙 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 顆粒狀 蒸鍍材 鍍膜 方法 以及 | ||
【權利要求書】：
1.一種顆粒狀蒸鍍材，其中，
該顆粒狀蒸鍍材由對純度為98%以上且小于100%的WO3-x原料粉末進行造粒處理而形成的平均粒徑為1～10mm的顆粒體構成，其中，0≤x≤1。
2.一種蒸鍍膜的成膜方法，其中，
該成膜方法利用權利要求1記載的顆粒狀蒸鍍材，通過電阻加熱法、電子束蒸鍍法或反應性等離子體蒸鍍法來進行成膜。
3.一種蒸鍍膜，其中，
利用權利要求1記載的顆粒狀蒸鍍材，通過真空成膜法來形成該蒸鍍膜。
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