[發明專利]液體材料氣化裝置

有效

• 申請號: 201210352861.7
• 申請日: 2007-04-04
• 公開（公告）號: CN102912319A
• 公開（公告）日: 2013-02-06
• 發明（設計）人: 西川一朗;河野武志
• 申請（專利權）人: 株式會社堀場STEC
• 主分類號: C23C16/448
• 分類號: C23C16/448;H01L21/205
• 代理公司: 上海市華誠律師事務所 31210
• 代理人: 楊暄

本申請為下述申請的分案申請：

原申請的申請日：2007年4月4日

原申請的申請號：2007800109411

原申請的發明名稱：液體材料氣化裝置

技術領域

本發明涉及對半導體制造中所使用的各種液體材料進行氣化用的液體材料氣化裝置。

背景技術

以往，已知有一種即使是容易引起熱分解的液體材料也能在使其不熱分解的狀態下可靠地進行氣化的液體材料氣化裝置。

具體來講，這種液體材料氣化裝置包括：由具備流量控制功能的控制閥構成的氣液混合部，該控制閥被供給液體材料和運載氣體，控制液體材料的流量并使液體材料與運載氣體混合；以及與該氣液混合部分開獨立設置的氣化部，該氣化部通過將經由管道導入的來自氣液混合部的氣液混合體從噴嘴部放出后進行減壓而使液體材料氣化并利用所述運載氣體將該氣化生成的氣體導出；以及連接這些氣液混合部和氣化部的管道等（例如、參照專利文獻1）。

專利文獻1：日本專利特開2003－163168號公報

發明的公開

發明所要解決的技術問題

然而，在以往的結構中，存在的問題是若對將高沸點溶質溶解于低沸點材料溶劑而成的液體材料進行氣化，則會發生在管道中僅低沸點材料溶劑氣化、高沸點溶質成為殘渣而將管道堵塞等現象。

本發明就是為了解決上述那樣的技術問題，其主要目的在于提供一種優質的液體材料氣化裝置，即使是對將高沸點溶質溶解于低沸點材料溶劑而成的液體材料進行氣化，也不會發生在管道中僅低沸點材料溶劑氣化、高沸點溶質成為殘渣而將管道堵塞那樣的不良情況。

用于解決技術問題的方案

本發明的液體材料氣化裝置，其特征在于，包括：將液體材料與運載氣體混合而生成氣液混合體的氣液混合部；對來自所述氣液混合部的氣液混合體進行氣化、利用所述運載氣體將該氣化生成的氣體導出到外部的加熱型的氣化部；以及連接所述氣液混合部和所述氣化部、內部具有所述氣液混合體的流道的連接部；以及將所述連接部冷卻的連接部冷卻部。

其中，作為特別能確認本發明的液體材料氣化裝置的效果的“液體材料”，是將具有不同沸點的多種材料混合而成的液體狀材料，例如可以列舉有將高沸點溶質溶解于低沸點材料溶劑而成的液體材料。當然，使用該液體材料氣化裝置也能氣化其他液體材料（例如，由單一成份構成的液體材料、將具有相同沸點的多種材料混合而成的液體材料等）。另外，液體材料的生成方法可以是任意的方法，例如將固體溶解于液體而成的方法、將液體相互間混合而成的方法等。

采用這種裝置，由于連接部冷卻部將連接部冷卻，能減少氣化部的熱向氣液混合部傳熱，能使通過連接部內的流道的氣液混合體受到該熱能的影響變小。因此，例如即使是對將高沸點溶質溶解于低沸點材料溶劑而成的液體材料進行氣化，也能防止在管道和氣液混合部內的液體流量控制用的隔膜中，僅低沸點材料溶劑氣化、高沸點溶質成為殘渣而將連接部的內部流道和隔膜堵塞那樣的不良現象。

即，可提供優質的液體材料氣化裝置，即使在對由具有不同沸點的多種材料構成的液體材料進行氣化的場合也能防止產生殘渣并能良好地進行氣化。

為了獲取更高的防止殘渣發生效果，最好是所述連接部冷卻部對所述連接部的大致整體進行冷卻。

即使所述氣化部加熱保溫到約300度左右，也能通過連接部冷卻部的作用將氣液混合部保持在約60度左右，因此，不僅能確保高溫型氣化部的功能，而且能良好地防止產生殘渣。

作為本發明的連接部冷卻部的具體形態，可列舉有所述連接部冷卻部具有接受冷卻氣體的供給并安裝于所述連接部的一個或多個連接部冷卻翼片的結構。采用這種結構，不僅結構簡單，而且能獲得高冷卻效果，能良好地防止產生殘渣那樣的不良現象。

此時，若將所述連接部冷卻翼片配置在冷卻箱內，該冷卻箱具有將所述冷卻氣體導入內部的導入口和將冷卻使用后的冷卻氣體向外部導出的導出口，則能向連接部冷卻翼片有效地供給冷卻氣體，因此，不僅能有效地使連接部冷卻翼片冷卻，而且還能防止所需的冷卻氣體的冷氣泄漏到冷卻箱外部而造成浪費，有助于節能。

如果具備有預先對所述冷卻氣體進行冷卻的冷卻氣體冷卻部，則可獲得連接部的更高的冷卻效果，能有效地防止上述不良現象。

其中，作為所述冷卻氣體冷卻部的最佳形態，可以列舉有：該冷卻氣體冷卻部具有一個或多個冷卻氣體冷卻翼片、以及冷卻氣體冷卻用珀耳帖元件，所述冷卻氣體冷卻用珀耳帖元件的冷卻側安裝于冷卻氣體的流道而其發熱側安裝在所述冷卻氣體冷卻翼片上。