[發明專利]液體材料氣化裝置

有效

• 申請號: 201210352861.7
• 申請日: 2007-04-04
• 公開（公告）號: CN102912319A
• 公開（公告）日: 2013-02-06
• 發明（設計）人: 西川一朗;河野武志
• 申請（專利權）人: 株式會社堀場STEC
• 主分類號: C23C16/448
• 分類號: C23C16/448;H01L21/205
• 代理公司: 上海市華誠律師事務所 31210
• 代理人: 楊暄

1.一種液體材料氣化裝置，其特征在于，包括：

氣液混合部，其混合液體材料和運載氣體生成氣液混合體；

加熱型氣化部，其對來自所述氣液混合部的氣液混合體進行氣化、利用所述運載氣體將該氣化生成的氣體向外部導出，

所述氣化部構成為在其通道內配置有一個或多個扭轉成螺旋形狀的平板。

2.如權利要求1所述的液體材料氣化裝置，其特征在于，所述氣化部的后段設有過濾器。

3.如權利要求1所述的液體材料氣化裝置，其特征在于，所述氣化部包括：氣體導入通道、氣體導出通道、設于該氣體導入通道和氣體導出通道的連接部分的噴嘴部。

4.如權利要求3所述的液體材料氣化裝置，其特征在于，在比所述噴嘴部更后方設置有過濾器。