[發明專利]自動化物料傳輸系統及其方法

有效

• 申請號: 201210349599.0
• 申請日: 2012-09-18
• 公開（公告）號: CN102897538A
• 公開（公告）日: 2013-01-30
• 發明（設計）人: 李佳青
• 申請（專利權）人: 上海集成電路研發中心有限公司
• 主分類號: B65G49/07
• 分類號: B65G49/07;B65G47/91
• 代理公司: 上海天辰知識產權代理事務所(特殊普通合伙) 31275
• 代理人: 吳世華;林彥之

技術領域

本發明屬于物料傳輸領域，具體地說，涉及一種自動化物料傳輸系統及其方法。

背景技術

隨著半導體技術的發展，300mm的硅片已經取代200mm的硅片成為主流，每個裝載了硅片的容器重量由原來的約4公斤變成了約9公斤。因此，如果借助于人力來在各個制造模塊之間來進行傳輸的話，會導致效率比較低，同時還可能導致人員被傷害的危險。而由于可以有效提高廠房利用率、縮短產品的生產周期，自動化物料傳輸系統（Automated?Material?Handling?Systems，以下簡稱：AMHS）相對于人力化的物料傳輸來說，成為在300mm硅片制造過程中各個制造模塊之間來進行輸送硅片的主要紐帶。

圖8為現有技術中自動化物料傳輸系統的結構示意圖。如圖8所示，該自動化物料傳輸系統主要包括：存儲單元STOCKER?801和升降機子系統802。其中，存儲單元STOCKER?801設有至少一個輸入口811、至少一個輸出口821，存儲單元STOCKER?801中放置有盒式容器803，在盒式容器803存放有物料（Work?In?Product，以下簡稱WIP）如硅片。升降機子系統802包括設置在存儲單元STOCKER?801外圍的懸空軌道812，以及可在懸空軌道812上行駛的輸送車822。每個輸送車822還連接有一機械手832，通過該機械手832來拾取或者卸載盒式容器803，再控制輸送車822沿著懸空軌道812行駛，從而使得硅片在制造區域的各個制造模塊之間自動傳輸。比如拾取了一盒式容器803的輸送車822在懸空軌道812上行駛，并停在可以把其拾取的盒式容器803卸載到其停靠位置處輸入口811的位置，或者可以從輸出口821拾取一盒式容器803的位置，并最終完成盒式容器803到存儲單元STOCKER?801的卸載或者裝入。當該輸送車822完成卸載或者裝入后，另一停靠在懸空軌道812輸送車822再通過其停靠位置處輸入口811或者輸出口821卸載或者裝入其他的盒式容器803。

卸載或者裝入盒式容器803是通過與輸送車822連接的、設置在存儲單元801中的機械臂832完成的，為此，該機械臂832通常需要設置3個或更多的運動軸線，從而將存儲單元STOCKER?801中的物料WIP推送到輸出口811或將輸送車822中的物料WIP推送到輸入口821。然而，3個或更多的運動軸線使得機械手832的運動過程較為復雜，增加了從存儲單元STOCKER?801拾取即裝入或者卸載盒式容器803的最小時間量，從而導致傳輸效率較低。如果采用增加輸入口811和輸出口821來提高搬送效率的話，由于受到機械臂832數量的限制，以及懸空軌道排布的限制，在每次只能允許有一個輸送車822進行卸載或者裝入的情況下，由于存在裝入、卸載過程中的滯時，搬送效率并不會有效地得到提高。另外，增加輸入口811和輸出口821也會增加存儲單元STOCKER?801的成本，從而也進一步增加了硅片的生產成本。

發明內容

本發明所要解決的技術問題是提供一種自動化物料傳輸系統、自動化物料傳輸臺及其方法，以降低生產成本，提高物料在不同制造模塊之間傳輸的搬送效率。

為了解決上述技術問題，本發明提供了一種自動化物料傳輸系統，該系統包括：

存儲設備，包括至少一個存儲單元，所述存儲單元中分層存儲有物料；

導軌，與所述物料的生產區域的主導軌一體，并設置在所述存儲設備外圍側；

物料輸送單元，用于存取所述物料并沿著所述導軌行駛以傳輸所述物料；

位置傳感器，用于確定所述物料輸送單元在所述導軌上的第一位置；

傳動單元，用于將存取的所述物料在存放位置與第二位置之間推送傳遞，所述第二位置與所述第一位置在豎直方向對應。

為了解決上述技術問題，本發明還提供了一種自動化物料傳輸臺，該傳輸臺包括：

導軌，與物料的生產區域的主導軌一體；

物料輸送單元，用于存取存儲設備中的所述物料并沿著所述導軌行駛以傳輸所述物料；

位置傳感器，用于確定所述物料輸送單元在所述導軌上的第一位置；

傳動單元，用于將存取的所述物料在存放位置與第二位置之間推送傳遞，所述第二位置與所述第一位置在豎直方向對應。

為了解決上述技術問題，本發明又提供了一種自動化物料傳輸方法，該傳輸方法包括：

步驟1、物料分層存儲在存儲設備的存儲單元中；