[發(fā)明專利]自動化物料傳輸系統(tǒng)及其方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201210349599.0
• 申請日: 2012-09-18
• 公開（公告）號: CN102897538A
• 公開（公告）日: 2013-01-30
• 發(fā)明（設計）人: 李佳青
• 申請（專利權）人: 上海集成電路研發(fā)中心有限公司
• 主分類號: B65G49/07
• 分類號: B65G49/07;B65G47/91
• 代理公司: 上海天辰知識產(chǎn)權代理事務所(特殊普通合伙) 31275
• 代理人: 吳世華;林彥之

1.一種自動化物料傳輸系統(tǒng)，其特征在于，包括：

存儲設備，包括至少一個存儲單元，所述存儲單元中分層存儲有物料；

導軌，與所述物料的生產(chǎn)區(qū)域的主導軌一體，并設置在所述存儲設備外圍側(cè)；

物料輸送單元，用于存取所述物料并沿著所述導軌行駛以傳輸存取的所述物料；

位置傳感器，用于確定所述物料輸送單元在所述導軌上的第一位置；

傳動單元，用于將存取的所述物料在存放位置與第二位置之間推送傳遞，所述第二位置與所述第一位置在豎直方向?qū)?/p>

2.根據(jù)權利要求1所述的系統(tǒng)，其特征在于，還包括：所述存儲單元中設置有存儲位，用于存放裝載物料的容納單元。

3.根據(jù)權利要求2所述的系統(tǒng)，其特征在于，同層的所有所述容納單元共享設置一所述存儲位，或者，同層的每個所述容納單元單獨設置一所述存儲位。

4.根據(jù)權利要求2所述的系統(tǒng)，其特征在于，所述容納單元為前端開口片盒和/或標準機械界面盒。

5.根據(jù)權利要求2所述的系統(tǒng)，其特征在于，同一層的所有所述存儲位共享設置有一所述存取門。

6.根據(jù)權利要求2所述的系統(tǒng)，其特征在于，同一層的每個所述存儲位單獨設置有一所述存取門。

7.根據(jù)權利要求5所述的系統(tǒng)，其特征在于，同一層的所有所述存儲位共享設置一所述傳動單元，或者，同一層的每個所述存儲位單獨設置一所述傳動單元。

8.根據(jù)權利要求6所述的系統(tǒng)，其特征在于，同一層的每個所述存儲位單獨設置一所述傳動單元。

9.根據(jù)權利要求1所述的系統(tǒng)，其特征在于，所述導軌設置在所述存儲設備的單側(cè)或者兩側(cè)。

10.根據(jù)權利要求1所述的系統(tǒng)，其特征在于，所述傳動單元包括傳送帶和用于驅(qū)動所述傳送帶動作的驅(qū)動單元，所述傳送帶上放置有所述容納單元。

11.根據(jù)權利要求1所述的系統(tǒng)，其特征在于，所述傳動單元包括機械臂。

12.根據(jù)權利要求1所述的系統(tǒng)，其特征在于，所述物料輸送單元包括傳輸車和拾取單元，其中，所述傳輸車用于帶動所述拾取單元沿著所述導軌行駛以傳輸所述物料；所述拾取單元設置在所述傳輸車前端，用于存取所述物料。

13.根據(jù)權利要求12所述的系統(tǒng)，其特征在于，所述拾取單元為機械手。

14.根據(jù)權利要求13所述的系統(tǒng)，其特征在于，所述機械手前端設置有拾取傳感器，用于確定所述機械手是否抓放所述物料。

15.根據(jù)權利要求14所述的系統(tǒng)，其特征在于，所述拾取傳感器為電阻式傳感器、電容式傳感器、電感式傳感器、磁電式傳感器、電渦流傳感器、光電傳感器中之一，或者其中至少兩種的任意組合。

16.根據(jù)權利要求1所述的系統(tǒng)，其特征在于，不同層且位于同一豎直方向的若干個所述物料共享設置一所述位置傳感器。

17.根據(jù)權利要求16所述系統(tǒng)，其特征在于，所述位置傳感器為一維條碼傳感器，或光柵尺位置傳感器。

18.根據(jù)權利要求1至17任一所述的系統(tǒng)，其特征在于，所述物料為硅片。

19.一種自動化物料傳輸臺，其特征在于，包括：

導軌，與物料的生產(chǎn)區(qū)域的主導軌一體；

物料輸送單元，用于存取存儲設備中的所述物料并沿著所述導軌行駛以傳輸所述物料；

位置傳感器，用于確定所述物料輸送單元在所述導軌上的第一位置；

傳動單元，用于將存取的所述物料在存放位置與第二位置之間推送傳遞，所述第二位置與所述第一位置在豎直方向?qū)?/p>

20.根據(jù)權利要求19所述的系統(tǒng)，其特征在于，所述導軌設置在所述存儲設備的單側(cè)或者兩側(cè)。

21.根據(jù)權利要求19所述的系統(tǒng)，其特征在于，所述物料輸送單元包括傳輸車和拾取單元，其中，所述傳輸車用于帶動所述拾取單元沿著所述導軌行駛以傳輸所述物料；所述拾取單元設置在所述傳輸車前端，用于存取所述物料。

22.根據(jù)權利要求21所述的系統(tǒng)，其特征在于，所述拾取單元為機械手。