[發(fā)明專(zhuān)利]基板檢測(cè)及修補(bǔ)裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201210348293.3
• 申請(qǐng)日: 2012-09-18
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN103021896A
• 公開(kāi)（公告）日: 2013-04-03
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 金顯正;姜道煥;趙啟峰;池泳洙
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 燦美工程股份有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): H01L21/66
• 分類(lèi)號(hào): H01L21/66;H01J9/42;G01N33/00;G02F1/13
• 代理公司: 北京鴻元知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11327
• 代理人: 姜虎;陳英俊

1.一種基板檢測(cè)及修補(bǔ)裝置，其特征在于，包括：

工作臺(tái)；

檢測(cè)單元，被安裝在所述工作臺(tái)上，搭載并支撐形成有陽(yáng)極線和陰極線的基板，且具有向所述基板供給電源的多個(gè)探頭，以檢測(cè)所述基板是否存在缺陷；及

修補(bǔ)單元，以能夠沿X軸方向和Y軸方向移動(dòng)的方式安裝在所述工作臺(tái)上，對(duì)所述基板的缺陷部位進(jìn)行修補(bǔ)；

所述探頭位于所述基板的下方，可進(jìn)行升降，并與所述陽(yáng)極線和所述陰極線進(jìn)行連接或不進(jìn)行連接。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板檢測(cè)及修補(bǔ)裝置，其特征在于，所述檢測(cè)單元包括：

底座，設(shè)置在上述工作臺(tái)上；

第一支撐塊，以長(zhǎng)度方向平行于X軸方向的方式設(shè)置在所述底座上，用于搭載并支撐所述基板的中央部側(cè)；

一對(duì)第二支撐塊，隔著所述第一支撐塊分別設(shè)置在所述第一支撐塊的一側(cè)和另一側(cè)的所述底座部位上，且長(zhǎng)度方向與X軸方向平行，能夠沿Y軸方向移動(dòng)，并以相互靠近或遠(yuǎn)離的方式移動(dòng)，用于搭載并支撐與Y軸方向垂直的所述基板的一側(cè)和另一側(cè)的外緣部；

一對(duì)第一鉗位器，設(shè)置在所述第一支撐塊的一端和另一端，以相互靠近或遠(yuǎn)離的方式移動(dòng)，并分別對(duì)與X軸方向垂直的所述基板的一側(cè)面和另一側(cè)面進(jìn)行支撐；以及

第二鉗位器，分別設(shè)置在所述第二支撐塊上以與所述第二支撐塊一同移動(dòng)，并分別對(duì)與Y軸方向垂直的所述基板的一側(cè)面和另一側(cè)面進(jìn)行支撐。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的基板檢測(cè)及修補(bǔ)裝置，其特征在于：

所述探頭分別設(shè)置在所述第二支撐塊一側(cè)，與所述第二支撐塊一同運(yùn)動(dòng)，并且，可相對(duì)于所述第二支撐塊進(jìn)行升降。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的基板檢測(cè)及修補(bǔ)裝置，其特征在于：

在所述第二支撐塊上分別設(shè)置有升降板，所述升降板在與所述第二支撐塊一同移動(dòng)的同時(shí)，可相對(duì)于所述第二支撐板進(jìn)行升降，

所述升降板上分別可拆卸地結(jié)合有支撐架，

所述支撐架上分別支撐并設(shè)置有多個(gè)所述探頭。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的基板檢測(cè)及修補(bǔ)裝置，其特征在于：

所述探頭設(shè)置成可升降設(shè)置在支撐架，

在所述支撐架上設(shè)置有朝向基板一側(cè)彈性支撐所述探頭的彈性支撐構(gòu)件。

6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的基板檢測(cè)及修補(bǔ)裝置，其特征在于：

所述第二支撐塊上分別安裝有多個(gè)按壓板，該按壓板在分別與所述第二支撐塊一同移動(dòng)的同時(shí)，可相對(duì)于第二支撐架進(jìn)行升降，并向下按壓所述基板的上面外緣部。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的基板檢測(cè)及修補(bǔ)裝置，其特征在于：

所述按壓板設(shè)置成，能夠與所述第二支撐塊的移動(dòng)獨(dú)立地沿Y軸方向進(jìn)行直線移動(dòng)。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的基板檢測(cè)及修補(bǔ)裝置，其特征在于：

所述底座上設(shè)置有能夠沿Y軸方向移動(dòng)的底板，

所述底板上設(shè)置有所述第二支撐塊，

所述底板上形成第一檔塊和第二檔塊，該第一檔塊用于限定朝所述第二支撐塊靠近的方向移動(dòng)的所述按壓板的移動(dòng)距離，該第二檔塊用于限定朝遠(yuǎn)離所述第二支撐塊的方向移動(dòng)的所述按壓板的移動(dòng)距離。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的基板檢測(cè)及修補(bǔ)裝置，其特征在于：

在所述按壓板上形成有沿所述按壓板的移動(dòng)方向而卡到所述第一檔塊和所述第二檔塊上的凸起。