1.一種選自下述(1)、(2)、(3)中的至少一種化合物在除去存在于干蝕刻和/或灰化后的半導(dǎo)體基板上的殘?jiān)鼤r用于保護(hù)Cu表面的使用，

(1)是含有具有式：＝N-NH-所示結(jié)構(gòu)的五元雜環(huán)芳香族化合物(不包括3個N連續(xù)的化合物)作為基本骨架的化合物，其水溶液(10ppm、23℃)的pH為7以下，

(2)是含有具有式：-N＝C(SH)-X-(式中，X表示NH、O或S)所示結(jié)構(gòu)的五元雜環(huán)化合物作為基本骨架的化合物，其水溶液(10ppm、23℃)的pH為7以下，

(3)是含有具有至少1個氮原子(N)的六元雜環(huán)芳香族化合物作為基本骨架的化合物，其水溶液(10ppm、23℃)的pH為7以上。

2.如權(quán)利要求1所述的選自所述(1)所示的化合物、所述(2)所示的化合物和所述(3)所示的化合物中的至少一種化合物的使用，其特征在于：

所述(1)所示的化合物是選自吲唑類、吡唑類和1，2，4-三唑類的化合物，

所述(2)所示的化合物是選自巰基咪唑類、巰基噁唑類、巰基噻唑類、巰基噻唑啉類、巰基苯并咪唑類、巰基苯并噁唑類和巰基苯并噻唑類的化合物，

所述(3)所示的化合物是選自吡啶類、嘧啶類、噠嗪類、吡嗪類、喹啉類或喹唑啉類、喹喔啉類和噌啉類的化合物。

3.如權(quán)利要求1所述的選自所述(1)所示的化合物、所述(2)所示的化合物和所述(3)所示的化合物中的至少一種化合物的使用，其特征在于：

所述(1)所示的化合物是選自吲唑、3-羥基吲唑、3-氯-1H-吲唑、5-氨基吲唑、5-硝基吲唑、6-氨基吲唑、6-硝基吲唑、3-溴-7-硝基吲唑、7-硝基吲唑、吲唑-3-羧酸、1-芐基-1H-吲唑-3-醇、吡唑、3，5-二甲基吡唑和1，2，4-三唑的化合物，

所述(2)所示的化合物是選自2-巰基苯并咪唑、2-巰基咪唑、2-巰基噁唑、2-巰基苯并噁唑、2-巰基噻唑、2-巰基苯并噻唑和2-噻唑啉-2-硫醇的化合物，

所述(3)所示的化合物是選自甲基吡啶、氨基吡啶、2，4-二氨基嘧啶、2，4，6-三氨基嘧啶、噠嗪、3-氨基吡嗪-2-羧酸和4-氨基喹啉的化合物。