[發明專利]一種監控光刻設備光路穩定性的裝置有效
| 申請號： | 201210343622.5 | 申請日： | 2012-09-17 |
| 公開（公告）號： | CN102866593A | 公開（公告）日： | 2013-01-09 |
| 發明（設計）人： | 朱駿;張旭昇 | 申請（專利權）人： | 上海華力微電子有限公司 |
| 主分類號： | G03F7/20 | 分類號： | G03F7/20;G01M11/02 |
| 代理公司： | 上海申新律師事務所 31272 | 代理人： | 竺路玲 |
| 地址： | 201210 上海市浦*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 監控 光刻 設備 穩定性 裝置 | ||
1.一種監控光刻設備光路穩定性的裝置，包括有照明光路裝置和投影光路裝置的光刻設備，其特征在于，于所述照明光路裝置和所述投影光路裝置上設置至少一個水平儀。
2.根據權利要求1所述的監控光刻設備光路穩定性的裝置，其特征在于，還包括光刻信息管理系統，所述水平儀與所述光刻信息管理系統聯機。
3.根據權利要求1或2所述的監控光刻設備光路穩定性的裝置，其特征在于，所述水平儀為機械式水平儀或電子水平儀。
4.根據權利要求1或2所述的監控光刻設備光路穩定性的裝置，其特征在于，所述照明光路裝置包括多個光路鏡頭。
5.根據權利要求4所述的監控光刻設備光路穩定性的裝置，其特征在于，于所述每個光路鏡頭上均設置有水平儀。
6.根據權利要求1或2所述的監控光刻設備光路穩定性的裝置，其特征在于，所述投影光路裝置也包括多個光路鏡頭。
7.根據權利要求6所述的監控光刻設備光路穩定性的裝置，其特征在于，于所述每個投影管路中的光路鏡頭上均設置有水平儀。
8.根據權利要求1所述的監控光刻設備光路穩定性的裝置，其特征在于，所述投影光路裝置還包括掩膜板，所述掩膜板上設置有水平儀。
9.根據權利要求1所述的監控光刻設備光路穩定性的裝置，其特征在于，所述光刻設備還包括光刻機硅片工作臺，所述光刻機硅片工作臺上設置有水平儀。
10.根據權利要求9所述的監控光刻設備光路穩定性的裝置，其特征在于，所述光刻設備還包括光刻機避震臺，所述光刻機硅片工作臺設置于所述光刻機避震臺上。
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