[發明專利]一種掩模組件的組裝方法在審

申請號：	201210329233.7	申請日：	2012-09-07
公開（公告）號：	CN103668050A	公開（公告）日：	2014-03-26
發明（設計）人：	魏志凌;高小平;張煒平	申請（專利權）人：	昆山允升吉光電科技有限公司
主分類號：	C23C14/04	分類號：	C23C14/04;C23C16/04
代理公司：	暫無信息	代理人：	暫無信息
地址：	215300 江蘇省***	國省代碼：	江蘇;32
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摘要：
搜索關鍵詞：	一種模組組裝方法
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【說明書】：

技術領域

本發明涉及電子印刷領域，尤其涉及一種掩模組件的組裝方法。

背景技術

與現行LCD技術相較，利用有機發光二級管（OLED）技術所制成的顯示器不僅具有可全彩化、反應時間快、高亮度(100~14,000cd/m²)、高流明效率(16~38lm/W)、170度以上的視角、無一般LCD殘影、可制作成大尺寸與可撓曲性面板、能夠在攝氏-30度~80度的范圍內作業等優勢，而且制程簡單、整體厚度也能縮小至1mm以下、成本更僅有TFT-LCD的30~40%。因此，利用OLED技術所制成的顯示器在深得社會歡迎。

目前，OLED技術所制成的顯示器在小尺寸上已經達到量產技術，而且相對較為成熟。但為了通過同時制造多個OLED顯示器以實現產量的提高，或者是制造出大尺寸的OLED顯示器，就需要增大傳統大襯底的尺寸，相應的就必須增大用于蒸鍍有機材料的掩模組件的尺寸。

圖14所示是傳統用于蒸鍍有機材料的掩模組件的結構示意圖，其包括外框11及通過焊點120固定在外框11上的掩模部12，掩模部12是通過在兩端施加拉力繃緊后焊接到外框11上，焊接后釋放拉力。掩模組件水平放置時，由于掩模部12沿原來拉力反方向回縮導致外框11上下（圖14中上下方位）支撐部分出現圖中所示內凹現象，從而使得掩模部12出現下垂（特別是掩模部12中間區域），如此造成的后果是蒸鍍得到的圖案位置精度、尺寸大小相對都會有一定的偏差，從而影響產品的質量及良率。

中國專利申請號為2010101136655公開了一種掩模組件及用于使用該掩模組件的平板顯示器的沉積設備，其主要結構在于：掩模組件的外框上設置有橫跨外框構成的開口區域的支撐棒，從而減少掩模部的下垂量。中國專利專利號為01138161.2提供了一種用于制造大尺寸顯示面板的掩模，其包括:具有多個孔的主框架，自掩模根據要制造的尺寸和圖案而裝配在主框架的孔內。以上方式在實現OLED顯示器量產上有一定的作用，但在制作大尺寸顯示屏上具有一定局限。?

發明內容

有鑒于此，需要克服現有技術中的上述缺陷中的至少一個。本發明提供了一種掩模組件的組裝方法。

本文提供的一種掩模組件的組裝方法，具體包括以下步驟：

S1：掩?？蚣軐ξ话惭b：將所述掩?？蚣苤糜诮M裝平臺上，使得所述掩?？蚣艿膬瓤蚺c強化桿通過對位支撐機構對位正確放置；

S2：掩模部繃網固定：通過繃網裝置將所述掩模部繃緊且使掩模部緊貼所述掩模框架的掩模固定面，將繃緊的所述掩模部固定到所述掩?？蚣艿膬瓤蛏?；

S3：掩模板張力微調：通過調節連接機構，進一步微調固定后的掩膜組件，使得所述掩模部表面平整度更好，圖案位置精度更加準確。

另外，根據本發明公開的一種掩模組件的組裝方法還具有如下附加技術特征：

根據本發明的實施例，步驟S1中，進一步地，掩?？蚣芩椒胖糜诮M裝平臺上，將連接機構調節至松弛狀態，調整對位支撐機構位置，使所述對位支撐機構之間處于對位緊貼狀態，此時，所述內框和強化桿之間存有間距。

根據本發明的實施例，步驟S2中，進一步地，所述掩模部是單塊掩模板或是多塊掩模單元拼接而成。

根據本發明的實施例，步驟S2中，進一步地，采用兩端繃網方式或多邊繃網方式繃拉掩模部。

在本發明中，可以用兩端繃網方式或多邊繃網方式來對單塊掩模板進行繃網，但對于多塊掩模單元拼接而成的掩模部則需要采用多邊繃網方式進行。優選地，采用多邊繃網方式對單塊掩模板進行繃網。

根據本發明的實施例，步驟S2中，進一步地，所述掩模部固定前需要通過定位機構定位，使得所述掩模部相對所述掩?？蚣芫哂芯_地定位。