[發明專利]一種掩模組件的組裝方法

在審

• 申請號: 201210329233.7
• 申請日: 2012-09-07
• 公開（公告）號: CN103668050A
• 公開（公告）日: 2014-03-26
• 發明（設計）人: 魏志凌;高小平;張煒平
• 申請（專利權）人: 昆山允升吉光電科技有限公司
• 主分類號: C23C14/04
• 分類號: C23C14/04;C23C16/04
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種掩模組件的組裝方法，其特征在于,包括：

S1：掩?？蚣軐ξ话惭b：將所述掩?？蚣苤糜诮M裝平臺上，使得所述掩?？蚣艿膬瓤蚺c強化桿通過對位支撐機構對位正確放置；

S2：掩模部繃網固定：通過繃網裝置將所述掩模部繃緊且使掩模部緊貼所述掩?？蚣艿难谀９潭?，將繃緊的所述掩模部固定到所述掩?？蚣艿膬瓤蛏希?/p>

S3：掩模板張力微調：通過調節連接機構，進一步微調固定后的掩膜組件，使得所述掩模部表面平整度更好，圖案位置精度更加準確。

2.根據權利要求1所述的掩模組件的組裝方法，其特征在于，步驟S1中，S11：

掩模框架水平放置于組裝平臺上，將連接機構調節至松弛狀態，調整對位支撐機構位置，使所述對位支撐機構之間處于對位緊貼狀態，此時，所述內框和強化桿之間存有間距。

3.根據權利要求1所述的掩模組件的組裝方法，其特征在于，步驟S2中，所述掩模部是單塊掩模板或是多塊掩模單元拼接而成。

4.根據權利要求1所述的掩模組件的組裝方法，其特征在于，步驟S2中，采用兩端繃網方式或多邊繃網方式繃拉掩模部。

5.根據權利要求1所述的掩模組件的組裝方法，其特征在于，步驟S2中，所述掩模部固定前需要通過定位機構定位，使得所述掩模部相對所述掩?？蚣芫哂芯_地定位。

6.根據權利要求1所述的掩模組件的組裝方法，其特征在于，步驟S2中，可以是

S21：所述掩模部是單塊掩模板，則只需一次繃網過程；

或者是

S22：所述掩模部由多塊掩模單元拼接而成，則需要包含多次繃網固定過程，直至所有所述掩模單元繃網固定完成。

7.根據權利要求1所述的掩模組件的組裝方法，其特征在于，步驟S2中，所述固定方式是激光焊接固定方式或者是膠水粘接等其它方式。

8.根據權利要求1所述的掩模組件的組裝方法，其特征在于，步驟S3中，所述連接機構包括螺絲，通過配合轉動調節螺絲，使得在掩模部繃拉下變形的內框一組對邊211在一定程度上恢復形變前的狀態，從而相應減少掩模部的下垂量，在調節螺絲時，需要時時監測掩模部上圖案的位置精度、開口尺寸等影響最終使用效果的掩膜組件參數。

9.根據權利要求7所述的掩模組件的組裝方法，其特征在于，步驟S3中，所述螺絲為密紋螺絲。

10.根據權利要求7所述的掩模組件的組裝方法，其特征在于，步驟S3中，可以是：

掩模部為單個掩模板時，所述連接機構通過次序調節螺絲方式，對掩模板進行張力調節；

或者是：

掩模部為多個拼接掩模單元時，所述連接機構可以采用先中間調節，再在中軸線的一側特定位置調節，再到以中軸線為鏡像的另一側對應位置進行調節，如此依次進行調節。