[發(fā)明專利]發(fā)光二極管的制造方法無效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201210326410.6 | 申請日： | 2012-09-05 |
| 公開（公告）號： | CN103515501A | 公開（公告）日： | 2014-01-15 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 邱信嘉;吳奇隆;葉姿吟;江俊德 | 申請（專利權(quán)）人： | 奇力光電科技股份有限公司;佛山市奇明光電有限公司 |
| 主分類號： | H01L33/20 | 分類號： | H01L33/20 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律師事務(wù)所 11105 | 代理人： | 陳小雯 |
| 地址： | 中國臺*** | 國省代碼： | 中國臺灣;71 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 發(fā)光二極管 制造 方法 | ||
1.一種發(fā)光二極管的制造方法，包括：
提供一鍵合基板；
提供一外延結(jié)構(gòu)，且于該外延結(jié)構(gòu)上具有至少一單一管芯結(jié)構(gòu)；
在該鍵合基板或外延結(jié)構(gòu)之一者形成至少一排氣通道，其中該排氣通道的位置對應(yīng)于該外延結(jié)構(gòu)上的各單一管芯結(jié)構(gòu)的周邊；
在該外延結(jié)構(gòu)與該鍵合基板上涂布接著膠；
揮發(fā)該接著膠上的有機(jī)揮發(fā)氣體；
結(jié)合該外延結(jié)構(gòu)與該鍵合基板；以及
沿著各該單一管芯結(jié)構(gòu)的周邊進(jìn)行切割，形成多顆發(fā)光二極管管芯。
2.如權(quán)利要求1所述的發(fā)光二極管的制造方法，其中該排氣通道設(shè)置于該鍵合基板。
3.如權(quán)利要求2所述的發(fā)光二極管的制造方法，其中該排氣通道的深度小于該鍵合基板的厚度
4.如權(quán)利要求1所述的發(fā)光二極管的制造方法，其中該排氣通道設(shè)置于該外延結(jié)構(gòu)。
5.如權(quán)利要求4所述的發(fā)光二極管的制造方法，其中該外延結(jié)構(gòu)包括外延基板與外延層，且該排氣通道的深度小于該外延層的厚度。
6.如權(quán)利要求1所述的發(fā)光二極管的制造方法，其中該排氣通道的深度為5~15μm。
7.如權(quán)利要求6所述的發(fā)光二極管的制造方法，其中該排氣通道的深度為5~9μm。
8.如權(quán)利要求1所述的發(fā)光二極管的制造方法，其中該外延結(jié)構(gòu)為四元外延結(jié)構(gòu)，且該四元外延結(jié)構(gòu)是由磷化鋁鎵銦(AlGaInP)構(gòu)成。
9.如權(quán)利要求1所述的發(fā)光二極管的制造方法，其中該接著膠為環(huán)氧樹脂。
10.如權(quán)利要求1所述的發(fā)光二極管的制造方法，其中該鍵合基板的材料包括氮化鎵、碳化硅或硅基板。
11.如權(quán)利要求1所述的發(fā)光二極管的制造方法，其中應(yīng)用感應(yīng)耦合等離子體離子蝕刻制作工藝、機(jī)械切割或激光切割，以于該外延結(jié)構(gòu)上的單一管芯結(jié)構(gòu)的周邊形成該排氣通道。
12.如權(quán)利要求1所述的發(fā)光二極管的制造方法，還包括：
去除該排氣通道上的該接著膠。
13.如權(quán)利要求12所述的發(fā)光二極管的制造方法，其中若該接著膠為非感光物質(zhì)，則應(yīng)用光刻與蝕刻制作工藝，去除該排氣通道上的該接著膠。
14.如權(quán)利要求12所述的發(fā)光二極管的制造方法，其中若該接著膠為感光物質(zhì)，則應(yīng)用光刻制作工藝，將該排氣通道上的該接著膠以顯影液去除。
15.一種發(fā)光二極管的制造方法，包括：
提供一鍵合基板；
提供一外延結(jié)構(gòu)，該外延結(jié)構(gòu)包含外延基板與外延層，其中該外延層具有相對的第一表面與第二表面，該外延基板與該外延層接合于該第一表面；
在該外延層上的各單一管芯結(jié)構(gòu)的周邊形成至少一排氣通道；
在該外延層的該第二表面與該鍵合基板上涂布接著膠；
揮發(fā)該接著膠上的有機(jī)揮發(fā)氣體；結(jié)合該外延結(jié)構(gòu)與該鍵合基板；
移除該外延基板，而暴露出該外延層的該第一表面；
在該外延層所暴露出的該第一表面上形成電極；以及
沿著各該單一管芯結(jié)構(gòu)的周邊進(jìn)行切割，形成多顆發(fā)光二極管管芯。
16.一種發(fā)光二極管的制造方法，包括：
提供一鍵合基板；
提供一外延結(jié)構(gòu)，該外延結(jié)構(gòu)包含外延基板與外延層，其中該外延層具有相對的第一表面與第二表面，該外延基板與該外延層接合于該第一表面，且于該外延結(jié)構(gòu)上具有至少一單一管芯結(jié)構(gòu)；
在該鍵合基板上形成至少一排氣通道，以對應(yīng)該單一管芯結(jié)構(gòu)的周邊；
在該外延層的該第二表面與該鍵合基板上涂布接著膠；
揮發(fā)該接著膠上的有機(jī)揮發(fā)氣體；
結(jié)合該外延結(jié)構(gòu)與該鍵合基板；
移除該外延基板，而暴露出該外延層的該第一表面；
在該外延層所暴露出的該第一表面上形成電極；以及
沿著各該單一管芯結(jié)構(gòu)的周邊進(jìn)行切割，形成多顆發(fā)光二極管管芯。
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