[發(fā)明專利]一種利用回收提純硅片鋸屑粉制備氮化硅的方法無效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201210322467.9 | 申請日： | 2012-09-03 |
| 公開（公告）號： | CN102849695A | 公開（公告）日： | 2013-01-02 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 周浪;尹傳強(qiáng);魏秀琴 | 申請（專利權(quán)）人： | 揚(yáng)州市艾諾光伏材料科技有限公司 |
| 主分類號： | C01B21/068 | 分類號： | C01B21/068;B09B3/00 |
| 代理公司： | 北京輕創(chuàng)知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11212 | 代理人： | 趙秀斌 |
| 地址： | 225816 江蘇省揚(yáng)*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 利用 回收 提純 硅片 鋸屑 制備 氮化 方法 | ||
1.一種利用回收提純硅片鋸屑粉制備氮化硅的方法，其特征在于，包括以下步驟：
1）將所述硅片鋸屑粉放入容器內(nèi)，再通入保護(hù)氣體，在所述保護(hù)氣體的保護(hù)下進(jìn)行第一次升溫，然后再進(jìn)行第一次保溫處理，得到粉體A；
2）將步驟1）中得到的粉體A在所述保護(hù)氣體的保護(hù)下，進(jìn)行第二次升溫，然后再進(jìn)行第二次保溫處理，保溫過程中并保持所述粉體A不斷轉(zhuǎn)動，然后進(jìn)行冷卻至室溫，得到粉體B；
3）將步驟2）中得到的粉體B在所述保護(hù)氣體的保護(hù)下，進(jìn)行第三次升溫，然后再進(jìn)行第三次保溫處理，然后進(jìn)行冷卻至室溫，即得到所述氮化硅。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的利用回收提純硅片鋸屑粉制備氮化硅的方法，其特征在于：所述硅片鋸屑粉包括碳化硅磨料砂漿線鋸硅屑或金剛石磨料固結(jié)線鋸硅屑。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的利用回收提純硅片鋸屑粉制備氮化硅的方法，其特征在于：所述保護(hù)氣體包括氨氣、氮氣或氮-氫混合氣中的任意一種。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的利用回收提純硅片鋸屑粉制備氮化硅的方法，其特征在于：所述容器為剛玉管式電阻爐。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的利用回收提純硅片鋸屑粉制備氮化硅的方法，其特征在于：所述氮化硅的粒度范圍為0.5～5微米。
6.根據(jù)權(quán)利要求1至5任一項所述的利用回收提純硅片鋸屑粉制備氮化硅的方法，其特征在于：在步驟1）中，所述第一次升溫的溫度至600～1000℃；所述進(jìn)行第一次保溫處理的保溫時間為1～6小時。
7.根據(jù)權(quán)利要求1至5任一項所述的利用回收提純硅片鋸屑粉制備氮化硅的方法，其特征在于：在步驟2）中，所述第二次升溫的溫度至1100～1200℃；所述進(jìn)行第二次保溫處理的保溫時間為1～6小時。
8.根據(jù)權(quán)利要求1至5任一項所述的利用回收提純硅片鋸屑粉制備氮化硅的方法，其特征在于：在步驟2）中，所述粉體A不斷轉(zhuǎn)動的轉(zhuǎn)速為3～30轉(zhuǎn)/分鐘。
9.根據(jù)權(quán)利要求1至5任一項所述的利用回收提純硅片鋸屑粉制備氮化硅的方法，其特征在于：在步驟3）中，所述第三次升溫的溫度至1250～1400℃；所述進(jìn)行第三次保溫處理的保溫時間為2～12小時。
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