[發(fā)明專利]真空反應(yīng)腔室進(jìn)出料的傳送方法及傳送設(shè)備

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201210322344.5
• 申請日: 2012-09-04
• 公開（公告）號: CN102842649A
• 公開（公告）日: 2012-12-26
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 李丙科
• 申請（專利權(quán)）人: 青島賽瑞達(dá)電子裝備股份有限公司
• 主分類號: H01L31/18
• 分類號: H01L31/18;H01L21/677
• 代理公司: 山東清泰律師事務(wù)所 37222
• 代理人: 寧燕

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及真空制程領(lǐng)域，特別是涉及真空反應(yīng)腔室進(jìn)出料的傳送方法及傳送設(shè)備。

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背景技術(shù)

在一些制造行業(yè)中，對很多工件的加工都需要在真空環(huán)境下進(jìn)行。不可避免地，需將工件從常溫常壓環(huán)境送入真空以及從真空取出至常溫常壓下，其整個反應(yīng)過程需要多次抽真空、破真空，不僅流程繁瑣而且消耗能源、磨耗設(shè)備。

如太陽能電池片制造行業(yè)，干法制絨設(shè)備是用于太陽能電池片刻蝕工藝的一種專用設(shè)備，其原理是在真空狀態(tài)下，通過射頻電源輝光放電，使反應(yīng)氣體電離成等離子體，氣體離子通過電勢的作用，轟擊硅片，對硅片進(jìn)行腐蝕，與硅片發(fā)生化學(xué)反應(yīng)和物理反應(yīng)，達(dá)到刻蝕效果。

整個過程是在真空腔室進(jìn)行的，在進(jìn)行反應(yīng)前，需要將電池片通過傳動機(jī)構(gòu)將電池片放置到腔室內(nèi)。通常的傳送方法有兩種，第一種如圖1所示。料盤2放置在工作臺A1上，首先進(jìn)行裝片，即將電池片4放置在料盤2上；再進(jìn)行送片，即將料盤2送至反應(yīng)腔室3內(nèi)進(jìn)行反應(yīng)；待反應(yīng)完畢后，再從原來的入口處進(jìn)行出片，即料盤2由反應(yīng)腔室3內(nèi)出來；最后回到工作臺A1進(jìn)行取片，由此完成一個太陽能片進(jìn)出作業(yè)的整個流程。整個工作過程占用時間較長。

另外一種傳動方式如圖2示。其反應(yīng)腔室3兩側(cè)分別設(shè)置工作臺A1和工作臺B5，與第一種方式區(qū)別在于，送片口與出片口不同，其采用流水作業(yè)方式，在反應(yīng)的同時，可以進(jìn)行裝片及取片，從一定程度上節(jié)約了時間。但是在反應(yīng)過程需抽真空，然后通入氣體進(jìn)行輝光放電，反應(yīng)結(jié)束后，為保證人身安全需將腔室內(nèi)具有腐蝕性的工藝氣體排除掉，重新抽真空，為保證腔室內(nèi)外壓力相同，還需重新對腔室內(nèi)使用惰性氣體破真空。以上整個反應(yīng)過程需要多次抽真空、破真空，不僅流程繁瑣而且消耗能源、磨耗設(shè)備；同時太陽能電池片一直在反應(yīng)腔室3內(nèi)，浪費了時間，降低了工作效率。

此外，以上兩種傳動方式所需人力較多，設(shè)備占用空間大。

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發(fā)明內(nèi)容

為了解決以上技術(shù)問題，本發(fā)明提供了一種節(jié)省人力物力、減少耗能、提高工作效率的真空反應(yīng)腔室進(jìn)出料的傳送方法。

本發(fā)明所述真空反應(yīng)腔室進(jìn)出料的傳送方法，其特征在于：工件在真空反應(yīng)腔室中進(jìn)行加工之前以及加工完畢后，需要先進(jìn)入一個與真空反應(yīng)腔室通過可開閉密封件連接的轉(zhuǎn)換腔室，轉(zhuǎn)換腔室在大氣與真空之間切換，工件在轉(zhuǎn)換腔室內(nèi)三個工作位之間切換，以完成待加工工件從外界送至真空反應(yīng)腔室以及加工完畢工件從真空反應(yīng)腔室送出外界的傳送。

為達(dá)到更好的效果，所述轉(zhuǎn)換?腔室在大氣與真空之間切換以及工件在轉(zhuǎn)換腔室內(nèi)三個工作位之間切換具體包括以下步驟：

（1）、打開轉(zhuǎn)換腔室的閥門，將工件送至轉(zhuǎn)換腔室內(nèi)的上傳送機(jī)構(gòu)，此時上傳動機(jī)構(gòu)處于與外界及真空反應(yīng)腔室內(nèi)放置工件的工作臺同一平面的位置，即零位；

（2）、上傳送機(jī)構(gòu)與下傳送機(jī)構(gòu)同步上升，當(dāng)下傳送機(jī)構(gòu)上升至零位，將下傳送機(jī)構(gòu)上的已反應(yīng)完畢的工件送至工作臺；

（3）、關(guān)閉轉(zhuǎn)換腔室的閥門，將轉(zhuǎn)換腔室內(nèi)抽真空，其真空度與反應(yīng)腔室內(nèi)反應(yīng)完畢后抽完的真空度相當(dāng)；

（4）、打開反應(yīng)腔室的閥門，將反應(yīng)腔室內(nèi)的工件送至轉(zhuǎn)換腔室內(nèi)的下傳送機(jī)構(gòu)；

（5）、上傳送機(jī)構(gòu)與下傳送機(jī)構(gòu)同步下降，當(dāng)上傳送機(jī)構(gòu)下降至零位，將上傳送機(jī)構(gòu)的工件送至反應(yīng)腔室內(nèi)；

（6）、關(guān)閉反應(yīng)腔室的閥門，使其內(nèi)的工件進(jìn)行反應(yīng)，反應(yīng)的同時在轉(zhuǎn)換腔室內(nèi)進(jìn)行大氣與真空狀態(tài)的切換；

（7）、打開轉(zhuǎn)換腔室的閥門，將工作臺上已換好的裝有下一個工件的工件送至換腔室內(nèi)的上傳送機(jī)構(gòu)，從而開始下一循環(huán)。

本發(fā)明所述真空反應(yīng)腔室進(jìn)出料的傳送方法，不但解決了反應(yīng)時不能進(jìn)行裝片取片的問題，而且可以解決反應(yīng)腔室進(jìn)行反復(fù)多次抽真空占用時間的問題；通過此進(jìn)出片傳送方法，可以大大提高生產(chǎn)效率，節(jié)省人力。

本發(fā)明還提供了一種實現(xiàn)真空反應(yīng)腔室進(jìn)出料傳送方法的傳送設(shè)備，包括真空反應(yīng)腔室和至少設(shè)有兩個可開閉密封件的轉(zhuǎn)換腔室，其中真空反應(yīng)腔室與轉(zhuǎn)換腔室之間通過一個可開閉密封件連接，轉(zhuǎn)換腔室內(nèi)設(shè)置有可進(jìn)行同步位移的A傳送機(jī)構(gòu)和B傳送機(jī)構(gòu)，以及分別與A傳送機(jī)構(gòu)、B傳送機(jī)構(gòu)相連的驅(qū)動系統(tǒng)。

為達(dá)到更好的效果，本發(fā)明所述傳送設(shè)備還可以采用以下措施：

1、所述驅(qū)動系統(tǒng)具體為升降驅(qū)動系統(tǒng)，包括電機(jī)、十字轉(zhuǎn)向器、螺旋升降機(jī)，電機(jī)通過減速器、聯(lián)軸器分別與兩個十字轉(zhuǎn)向器相連，十字轉(zhuǎn)向器通過聯(lián)軸器與螺旋升降機(jī)相連，螺旋升降機(jī)與上傳送機(jī)構(gòu)及下傳送機(jī)構(gòu)上設(shè)置的推桿相連。