[發(fā)明專利]真空反應(yīng)腔室進(jìn)出料的傳送方法及傳送設(shè)備

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201210322344.5
• 申請日: 2012-09-04
• 公開（公告）號: CN102842649A
• 公開（公告）日: 2012-12-26
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 李丙科
• 申請（專利權(quán)）人: 青島賽瑞達(dá)電子裝備股份有限公司
• 主分類號: H01L31/18
• 分類號: H01L31/18;H01L21/677
• 代理公司: 山東清泰律師事務(wù)所 37222
• 代理人: 寧燕

1.一種真空反應(yīng)腔室進(jìn)出料的傳送方法，其特征在于：工件在真空反應(yīng)腔室中進(jìn)行加工之前以及加工完畢后，需要先進(jìn)入一個與真空反應(yīng)腔室通過可開閉密封件連接的轉(zhuǎn)換腔室，轉(zhuǎn)換腔室在大氣與真空之間切換，工件在轉(zhuǎn)換腔室內(nèi)三個工作位之間切換，以完成待加工工件從外界送至真空反應(yīng)腔室以及加工完畢工件從真空反應(yīng)腔室送出外界的傳送。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述真空反應(yīng)腔室進(jìn)出料的傳送方法，其特征在于所述轉(zhuǎn)換腔室在大氣與真空之間切換以及工件在轉(zhuǎn)換腔室內(nèi)三個工作位之間切換具體步驟：

（1）、打開轉(zhuǎn)換腔室的閥門，將工件送至轉(zhuǎn)換腔室內(nèi)的上傳送機構(gòu)，此時上傳動機構(gòu)處于與工作臺同一平面的位置，即零位；

（2）、上傳送機構(gòu)與下傳送機構(gòu)同步上升，下傳送機構(gòu)上升至零位，將下傳送機構(gòu)上的已反應(yīng)完畢的工件送至工作臺；

（3）、關(guān)閉轉(zhuǎn)換腔室的閥門，將轉(zhuǎn)換腔室內(nèi)抽真空，其真空度與反應(yīng)腔室內(nèi)反應(yīng)完畢后抽完的真空度相當(dāng)；

（4）、打開反應(yīng)腔室的閥門，將反應(yīng)腔室內(nèi)的工件送至轉(zhuǎn)換腔室內(nèi)的下傳送機構(gòu)；

（5）、上傳送機構(gòu)與下傳送機構(gòu)同步下降，當(dāng)上傳送機構(gòu)下降至零位，將上傳送機構(gòu)的工件送至反應(yīng)腔室內(nèi)；

（6）、關(guān)閉反應(yīng)腔室的閥門，使其內(nèi)的電池片進(jìn)行反應(yīng)，反應(yīng)的同時在轉(zhuǎn)換腔室內(nèi)一次進(jìn)行破真空-抽真空-破真空的過程；

（7）、打開轉(zhuǎn)換腔室的閥門，將工作臺上已換好的裝有下一個太陽能片的工件送至換腔室內(nèi)的上傳送機構(gòu)，從而開始下一循環(huán)。

3.?一種實現(xiàn)真空反應(yīng)腔室進(jìn)出料傳送方法的傳送設(shè)備，其特征在于它包括真空反應(yīng)腔室和至少設(shè)有兩個可開閉密封件的轉(zhuǎn)換腔室，其中真空反應(yīng)腔室與轉(zhuǎn)換腔室之間通過一個可開閉密封件連接，轉(zhuǎn)換腔室內(nèi)設(shè)置有可進(jìn)行同步位移的A傳送機構(gòu)和B傳送機構(gòu)，以及分別與A傳送機構(gòu)、B傳送機構(gòu)相連的驅(qū)動系統(tǒng)。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述一種實現(xiàn)真空反應(yīng)腔室進(jìn)出料傳送方法的傳送設(shè)備，，其特征在于所述驅(qū)動系統(tǒng)具體為升降驅(qū)動系統(tǒng)，它包括電機、十字轉(zhuǎn)向器、螺旋升降機，電機通過減速器、聯(lián)軸器分別與兩個十字轉(zhuǎn)向器相連，十字轉(zhuǎn)向器通過聯(lián)軸器與螺旋升降機相連，螺旋升降機與上傳送機構(gòu)及下傳送機構(gòu)上設(shè)置的推桿相連。

5.?根據(jù)權(quán)利要求3或4所述一種實現(xiàn)真空反應(yīng)腔室進(jìn)出料傳送方法的傳送設(shè)備，其特征在于所述A傳送機構(gòu)和B傳送機構(gòu)具體為上傳送機構(gòu)和下傳送機構(gòu)結(jié)構(gòu)相同，分別包括電機、傘形齒輪與傳動軸，電機通過減速器、聯(lián)軸器與磁流體相連，傘形齒輪設(shè)置在磁流體的轉(zhuǎn)軸上，傘形齒輪通過聯(lián)軸器與傳動軸相連，傳動軸由支撐座固定在傳動機構(gòu)的平臺上，傳動軸上設(shè)置有滾輪。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述一種實現(xiàn)真空反應(yīng)腔室進(jìn)出料傳送方法的傳送設(shè)備，其特征在于所述傳送設(shè)備還包括固定在反應(yīng)腔室外表面上的焊接波紋管，其位于上傳送機構(gòu)和下傳送機構(gòu)的推桿外部。

7.?根據(jù)權(quán)利要求5所述一種實現(xiàn)真空反應(yīng)腔室進(jìn)出料傳送方法的傳送設(shè)備，其特征在于所述上傳送機構(gòu)和下傳送機構(gòu)為一體的。