[發明專利]真空反應腔室進出料的傳送方法及傳送設備

無效

• 申請號: 201210322344.5
• 申請日: 2012-09-04
• 公開（公告）號: CN102842649A
• 公開（公告）日: 2012-12-26
• 發明（設計）人: 李丙科
• 申請（專利權）人: 青島賽瑞達電子裝備股份有限公司
• 主分類號: H01L31/18
• 分類號: H01L31/18;H01L21/677
• 代理公司: 山東清泰律師事務所 37222
• 代理人: 寧燕

1.一種真空反應腔室進出料的傳送方法，其特征在于：工件在真空反應腔室中進行加工之前以及加工完畢后，需要先進入一個與真空反應腔室通過可開閉密封件連接的轉換腔室，轉換腔室在大氣與真空之間切換，工件在轉換腔室內三個工作位之間切換，以完成待加工工件從外界送至真空反應腔室以及加工完畢工件從真空反應腔室送出外界的傳送。

2.根據權利要求1所述真空反應腔室進出料的傳送方法，其特征在于所述轉換腔室在大氣與真空之間切換以及工件在轉換腔室內三個工作位之間切換具體步驟：

（1）、打開轉換腔室的閥門，將工件送至轉換腔室內的上傳送機構，此時上傳動機構處于與工作臺同一平面的位置，即零位；

（2）、上傳送機構與下傳送機構同步上升，下傳送機構上升至零位，將下傳送機構上的已反應完畢的工件送至工作臺；

（3）、關閉轉換腔室的閥門，將轉換腔室內抽真空，其真空度與反應腔室內反應完畢后抽完的真空度相當；

（4）、打開反應腔室的閥門，將反應腔室內的工件送至轉換腔室內的下傳送機構；

（5）、上傳送機構與下傳送機構同步下降，當上傳送機構下降至零位，將上傳送機構的工件送至反應腔室內；

（6）、關閉反應腔室的閥門，使其內的電池片進行反應，反應的同時在轉換腔室內一次進行破真空-抽真空-破真空的過程；

（7）、打開轉換腔室的閥門，將工作臺上已換好的裝有下一個太陽能片的工件送至換腔室內的上傳送機構，從而開始下一循環。

3.?一種實現真空反應腔室進出料傳送方法的傳送設備，其特征在于它包括真空反應腔室和至少設有兩個可開閉密封件的轉換腔室，其中真空反應腔室與轉換腔室之間通過一個可開閉密封件連接，轉換腔室內設置有可進行同步位移的A傳送機構和B傳送機構，以及分別與A傳送機構、B傳送機構相連的驅動系統。

4.根據權利要求3所述一種實現真空反應腔室進出料傳送方法的傳送設備，，其特征在于所述驅動系統具體為升降驅動系統，它包括電機、十字轉向器、螺旋升降機，電機通過減速器、聯軸器分別與兩個十字轉向器相連，十字轉向器通過聯軸器與螺旋升降機相連，螺旋升降機與上傳送機構及下傳送機構上設置的推桿相連。

5.?根據權利要求3或4所述一種實現真空反應腔室進出料傳送方法的傳送設備，其特征在于所述A傳送機構和B傳送機構具體為上傳送機構和下傳送機構結構相同，分別包括電機、傘形齒輪與傳動軸，電機通過減速器、聯軸器與磁流體相連，傘形齒輪設置在磁流體的轉軸上，傘形齒輪通過聯軸器與傳動軸相連，傳動軸由支撐座固定在傳動機構的平臺上，傳動軸上設置有滾輪。

6.根據權利要求5所述一種實現真空反應腔室進出料傳送方法的傳送設備，其特征在于所述傳送設備還包括固定在反應腔室外表面上的焊接波紋管，其位于上傳送機構和下傳送機構的推桿外部。

7.?根據權利要求5所述一種實現真空反應腔室進出料傳送方法的傳送設備，其特征在于所述上傳送機構和下傳送機構為一體的。