[發(fā)明專利]一種金剛線切割硅片的清洗方法有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201210320133.8 | 申請日： | 2012-08-31 |
| 公開（公告）號： | CN103658096A | 公開（公告）日： | 2014-03-26 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 崔三觀;蔡龍;袁剛;劉學(xué);楊長劍 | 申請（專利權(quán)）人： | 浙江昱輝陽光能源有限公司 |
| 主分類號： | B08B3/08 | 分類號： | B08B3/08;B08B3/12;B08B3/02 |
| 代理公司： | 北京集佳知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11227 | 代理人： | 王寶筠 |
| 地址： | 314117 浙江省嘉*** | 國省代碼： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 金剛 切割 硅片 清洗 方法 | ||
1.一種金剛線切割硅片的清洗方法，其特征在于，包括：
對切割好的硅片進(jìn)行預(yù)清洗；
采用活化清洗劑對預(yù)清洗后的硅片進(jìn)行活化清洗；
其中，所述活化清洗劑為雙氧水、氫氧化鈉以及純水構(gòu)成的混合試劑。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的清洗方法，其特征在于，所述活化清洗劑中雙氧水的濃度為2.5%Wt-9.5%Wt，氫氧化鈉的濃度為0.025%Wt-0.1%Wt。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的清洗方法，其特征在于，所述活化清洗包括：
將預(yù)清洗后的硅片放入溫度為35℃-55℃的所述活化清洗劑中進(jìn)行超聲清洗4min-5min；
對硅片進(jìn)行純水超聲清洗。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的清洗方法，其特征在于，所述純水超聲清洗包括：
將經(jīng)過所述活化清洗劑清洗后的硅片放入帶二級溢流槽的純水槽進(jìn)行超聲清洗，其中，水溫為40℃-50℃，清洗時間為4min-5min，純水槽的溢流流量為4L/min-12L/min。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的清洗方法，其特征在于，所述預(yù)清洗包括：
對切割后仍粘結(jié)在粘膠板上的硅片進(jìn)行沖洗；
對所述硅片進(jìn)行脫膠處理；
將脫膠后的硅片放入盛有水溫為20℃-30℃的純水插片槽中將硅片一張張分開，并將其一張張的插到片盒中，再將一盒盒的硅片放入籃筐中；
對放入籃筐中的硅片進(jìn)行第一次藥劑槽超聲清洗，其中，所述第一次藥劑槽超聲清洗的清洗試劑是濃度為0.4%Wt-0.8%Wt的草酸溶液，清洗時間為4min-5min，清洗溫度為40℃-50℃；
對經(jīng)過第一次藥劑槽超聲清洗后的所述籃筐中的硅片進(jìn)行第一次純水超聲清洗；
對經(jīng)過第一次純水超聲清洗后的所述籃筐中的硅片進(jìn)行第二次藥劑槽超聲清洗，其中，所述第二次藥劑槽超聲清洗的清洗試劑是濃度為2.0%Wt-4.0%Wt的硅片專用清洗劑溶液，清洗溫度為50℃-60℃，清洗時間為4min-5min；
對經(jīng)過第二次藥劑槽超聲清洗后的所述籃筐中的硅片進(jìn)行第二次純水超聲清洗。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的清洗方法，其特征在于，所述沖洗為：將切割后仍粘結(jié)在粘膠板上的硅片放到有噴淋、漂洗、超聲交替進(jìn)行功能的自動預(yù)清洗機(jī)上清洗5min-10min；
其中，水壓為0.2MPa-0.3MPa，水溫為20℃-35℃，沖洗用水包括：冷卻回流水、或自來水、或純水。
7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的清洗方法，其特征在于，所述脫膠包括：
將粘結(jié)有硅片的粘膠板浸入溫度為50℃-70℃的熱水中浸泡4min-7min，使硅片與粘膠板的粘膠面軟化；
分多次將硅片從所述粘膠板上取下；
將取下的硅片粘膠面朝上置于周轉(zhuǎn)箱中，用百潔布將膠絲擦掉，去除硅片表面殘膠，當(dāng)粘膠面上膠絲冷卻硬化不好擦除時，在所述粘膠面上澆淋溫度為50℃-70℃的熱水使所述膠絲再次軟化后擦除；
其中，熱水的液面高于硅片與粘膠板的粘膠面8mm-15mm；每分鐘噴淋常溫水2次-4次，以確保每張硅片保持濕潤，每次取片為30mm-50mm寬；浸泡、噴淋、澆淋用水包括：冷卻回流水、或自來水、或純水。
8.根據(jù)權(quán)利要求5所述的清洗方法，其特征在于，所述第一次純水超聲清洗包括：
將經(jīng)過第一藥劑槽超聲清洗后的所述籃筐中的硅片放入帶溢流且水溫為30℃-40℃的純水槽中進(jìn)行超聲清洗4min-5min，清洗時溢流量為2L/min-8L/min。
9.根據(jù)權(quán)利要求5所述的清洗方法，其特征在于，所述第二次純水超聲清洗包括：
將經(jīng)過第二次藥劑槽超聲清洗后的所述籃筐中的硅片放入帶溢流且水溫為40℃-50℃的純水槽中進(jìn)行超聲清洗4min-5min，清洗時溢流量為2L/min-8L/min。
10.根據(jù)權(quán)利要求5-9任一項(xiàng)所述的清洗方法，其特征在于，所述超聲清洗的超聲功率為35KHz-45KHz、超聲強(qiáng)度為0.7V-1.5V。
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