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[發明專利]一種提高化學溶液法制備CeO2薄膜臨界厚度的方法無效

專利信息
申請號: 201210318924.7 申請日: 2012-09-03
公開(公告)號: CN102864444A 公開(公告)日: 2013-01-09
發明(設計)人: 雷鳴;黃藝丹;趙勇;蒲明華;武偉;王文濤;張紅;張勇 申請(專利權)人: 西南交通大學
主分類號: C23C20/08 分類號: C23C20/08;H01B13/00
代理公司: 成都中亞專利代理有限公司 51126 代理人: 王崗
地址: 610031 四*** 國省代碼: 四川;51
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 一種 提高 化學 溶液 法制 ceo sub 薄膜 臨界 厚度 方法
【權利要求書】:

1.一種提高化學溶液法制備CeO2薄膜臨界厚度的方法,其特征依次由以下步驟構成:

a、硝酸鹽的制備:按稀土與鈰離子比x:1-x,0.01≤x≤0.5配制稀土硝酸鹽與硝酸亞鈰混合物;

b、膠體制備:將配制的稀土硝酸鹽與硝酸亞鈰溶解在高分子有機溶劑中;?

c、膠體涂敷與干燥:將b步中膠體均勻涂覆于織構基底上,后干燥;

d、?分解成相:將干燥樣品放入通H2/Ar還原氣氛的燒結爐中,經過350?oC-550?oC分解,后升溫至1000oC-1200oC成相,隨爐冷卻。

2.根據權利要求1所述的一種提高化學溶液法制備CeO2薄膜臨界厚度的方法,其特征在于:所述a步中,稀土為釔?(Y)、鑭(La)、鐠(Pr)、釹(Nd)、釤(Sm)、銪?(Eu)、釓(Gd)、鋱(Tb)、鏑?(Dy)、鈥(Ho)、鉺(Er)、銩(Tm)、鐿(Yb)、镥(Lu)中的一種。

3.根據權利要求1所述的一種提高化學溶液法制備CeO2薄膜臨界厚度的方法,其特征在于:所述b步中,高分子有機溶劑為聚甲基丙烯酸或聚丙烯酸與N-N二甲基甲酰胺的聚合物,此溶解過程中引入超聲儀器輔助,使得膠體獲得離子水平上的均勻分布。

4.根據權利要求1所述的一種提高化學溶液法制備CeO2薄膜臨界厚度的方法,其特征在于:所述c步中,織構基帶可為:NiW合金基帶、NiCr合金基帶、NiAg合金基帶以及其他織構基帶中的一種。

5.根據權利要求1所述的一種提高化學溶液法制備CeO2薄膜臨界厚度的方法,其特征在于:所述c步中,涂覆方法是:旋涂法、提拉法、狹縫噴涂法等中一種,涂覆時須保證薄膜厚度大于最小濕厚度,薄膜能夠連續、完全覆蓋基底。

6.根據權利要求1所述的一種提高化學溶液法制備CeO2薄膜臨界厚度的方法,其特征在于:所述d步中,?以1℃/min?-5℃/min速率升至350?oC-550?oC?,保證高分子有機物和硝酸鹽充分分解,后升溫至1000oC-1200oC成相溫度,保溫1-2小時,隨爐冷卻。

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