[發(fā)明專利]正型光敏樹脂組合物、使用其制備的光敏樹脂膜、以及包含該光敏樹脂膜的半導(dǎo)體器件

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201210316718.2
• 申請日: 2012-08-30
• 公開（公告）號: CN103176363A
• 公開（公告）日: 2013-06-26
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 趙顯龍;金尚洙;尹銀卿;李種和;李俊昊;黃銀夏;權(quán)志倫;李珍泳
• 申請（專利權(quán)）人: 第一毛織株式會社
• 主分類號: G03F7/039
• 分類號: G03F7/039;G03F7/016;H01L23/29
• 代理公司: 北京康信知識產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司 11240
• 代理人: 李丙林;張英

1.一種正型光敏樹脂組合物，包括

（A）由下列化學(xué)式1表示的含磷二胺制備的堿溶性樹脂；

（B）光敏重氮醌化合物；和

（C）溶劑：

[化學(xué)式1]

其中，在化學(xué)式1中，

R'和R″每一個(gè)獨(dú)立地是氫、取代的或未取代的C1至C20的烷基、取代的或未取代的C2至C20的烯基、取代的或未取代的C2至C20的炔基、取代的或未取代的C1至C20的烷氧基、取代的或未取代的C3至C20的環(huán)烷基、取代的或未取代的C3至C20的環(huán)烯基、取代的或未取代的C3至C20的環(huán)炔基、取代的或未取代的C2至C20的雜環(huán)烷基、取代的或未取代的C2至C20的雜環(huán)烯基、取代的或未取代的C2至C20的雜環(huán)炔基、或取代的或未取代的C6至C30的芳基，

R是取代的或未取代的C1至C20的烷基、取代的或未取代的C2至C20的烯基、取代的或未取代的C2至C20的炔基、取代的或未取代的C1至C20的烷氧基、取代的或未取代的C3至C20的環(huán)烷基、取代的或未取代的C3至C20的環(huán)烯基、取代的或未取代的C3至C20的環(huán)炔基、取代的或未取代的C2至C20的雜環(huán)烷基、取代的或未取代的C2至C20的雜環(huán)烯基、取代的或未取代的C2至C20的雜環(huán)炔基、或取代的或未取代的C6至C30的芳基，以及n'和n″是從0到3的整數(shù)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的正型光敏樹脂組合物，其中所述含磷二胺包括選自由下列化學(xué)式2和3表示的化合物中的至少一種：

[化學(xué)式2]

[化學(xué)式3]

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的正型光敏樹脂組合物，其中所述堿溶性樹脂包括聚苯并噁唑前體，所述聚苯并噁唑前體包括由下列化學(xué)式4表示的重復(fù)單元：

[化學(xué)式4]

其中，在化學(xué)式4中，

X¹是由以上化學(xué)式1表示的含磷二胺衍生的殘基，并且

Y¹是取代的或未取代的C6至C30的芳香族有機(jī)基團(tuán)、取代或未取代的二價(jià)至六價(jià)的C1至C30的脂肪族有機(jī)基團(tuán)、或取代的或未取代的二價(jià)至六價(jià)的C3至C30的脂環(huán)族有機(jī)基團(tuán)。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的正型光敏樹脂組合物，其中所述堿溶性樹脂是由所述含磷二胺和芳香二胺制備的，并且

所述芳香二胺包括選自下列化學(xué)式8和9中的至少一種：

[化學(xué)式8]

[化學(xué)式9]

其中，在化學(xué)式8和9中，

A是單鍵、-O-、-CO-、-CR⁴R⁵-、-SO₂-、或-S-，R⁴和R⁵每一個(gè)獨(dú)立地是氫、或取代的或未取代的C1至C30的烷基，

R¹和R³每一個(gè)獨(dú)立地是氫、取代的或未取代的C1至C30的烷基、取代的或未取代的C1至C30的羧基、羥基或巰基，

n₁是從0到2的整數(shù)，并且

n₂和n₃是從0到3的整數(shù)。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的正型光敏樹脂組合物，其中所述含磷二胺和所述芳香二胺以5:95至95:5的重量比混合。