[發明專利]光刻物鏡中光學元件高精度支撐結構

無效

• 申請號: 201210312922.7
• 申請日: 2012-08-29
• 公開（公告）號: CN102854597A
• 公開（公告）日: 2013-01-02
• 發明（設計）人: 趙磊;鞏巖;于新峰;彭海峰
• 申請（專利權）人: 中國科學院長春光學精密機械與物理研究所
• 主分類號: G02B7/02
• 分類號: G02B7/02;G03F7/20
• 代理公司: 長春菁華專利商標代理事務所 22210
• 代理人: 南小平

技術領域

本發明屬于深紫外投影光刻物鏡結構設計與像差補償領域，具體涉及光刻物鏡中光學元件高精度支撐結構。

背景技術

投影光刻裝備是大規模集成電路制造工藝中的關鍵設備，近年來隨著集成電路線寬精細程度的不斷提高，投影光學裝備的分辨率亦逐漸提高，目前波長193.368nm的ArF準分子激光器投影光刻裝備已成為90nm、65nm和45nm節點集成電路制造的主流裝備。

投影光刻物鏡裝調及使用過程中，為滿足良好的光學系統性能，要求其內部光學元件面形RMS值大都在1~2nm范圍內，同時要求其工作過程中受高能激光照射時引起的光學元件熱面形RMS控制在1~2nm范圍內。

發明內容

本發明為解決光刻物鏡中光學元件高精度支撐問題，提出一種三點徑向撓性主支撐、多點彈片輔助支撐的光刻物鏡中光學元件高精度支撐結構。

光刻物鏡中光學元件高精度支撐結構，包括鏡框和整體彈片，所述整體彈片與鏡框之間通過若干螺釘固定。

所述鏡框內環周向均勻分布三處徑向撓性彈片，所述三處徑向撓性彈片和鏡框為一體式結構。

所述整體彈片具有若干整體彈片支撐片，所述三處徑向撓性彈片與若干整體彈片支撐片沿周向均勻分布。

所述三處徑向撓性彈片支撐處的形狀與光學元件下表面相適應。

本發明的有益效果是：所述鏡框通過其內環上的周向均布的三處徑向撓性彈片支撐光學元件，當光學元件由于熱載荷等膨脹時，鏡框由于徑向撓性彈片的存在能夠適應性地伸縮，所述三處徑向撓性彈片支撐處的形狀與光學元件下表面接觸處形狀相吻合，當光學元件接觸面為平面時，彈片接觸面也為平面，當光學元件接觸面為球面和非球面時，彈片接觸面也相應地為球面和非球面，兩者之間為面接觸，從而實現光刻物鏡中光學元件高精度支撐。

附圖說明

圖1為本發明光刻物鏡中光學元件高精度支撐結構俯視圖。

圖2為本發明光刻物鏡中光學元件高精度支撐結構仰視圖。

圖3為本發明所述的鏡框和整體彈片安裝示意圖。

圖4為本發明所述的鏡框結構示意圖。

圖5為本發明所述的整體彈片結構示意圖。

具體實施方式

下面結合附圖對本發明進行詳細說明。

如圖1至圖5所示，光刻物鏡中光學元件高精度支撐結構，包括鏡框2和整體彈片3。光學元件1與鏡框2之間通過膠粘的方式連接。整體彈片3與鏡框2之間通過多個螺釘4固定。

鏡框2通過其內環上的周向均布的三處徑向撓性彈片2-1支撐光學元件1。三處徑向撓性彈片2-1與若干整體彈片支撐片3-1沿周向均勻分布。三處徑向撓性彈片2-1和鏡框2為一體式結構，可通過慢走絲線切割的方式進行加工。當光學元件1由于熱載荷等膨脹時，由于鏡框結構整體上在徑向上存在一定的撓性，因此當光學元件2膨脹收縮時能夠適應性地伸縮。三處徑向撓性彈片2-1支撐處的形狀依據光學元件1下表面接觸處形狀而定。當光學元件接觸面為平面時，彈片接觸面也為平面；當光學元件接觸面為球面時，彈片接觸面也相應地為球面；當光學元件接觸面為非球面時，彈片接觸面也相應地為非球面，兩者之間為面接觸。

裝調時，首先將光學元件1放置在鏡框2上之后，然后對光學元件1進行調心，最后將光學元件1和鏡框2膠粘固定。?