[發明專利]光刻物鏡中光學元件高精度支撐結構無效
| 申請號： | 201210312922.7 | 申請日： | 2012-08-29 |
| 公開（公告）號： | CN102854597A | 公開（公告）日： | 2013-01-02 |
| 發明（設計）人： | 趙磊;鞏巖;于新峰;彭海峰 | 申請（專利權）人： | 中國科學院長春光學精密機械與物理研究所 |
| 主分類號： | G02B7/02 | 分類號： | G02B7/02;G03F7/20 |
| 代理公司： | 長春菁華專利商標代理事務所 22210 | 代理人： | 南小平 |
| 地址： | 130033 吉*** | 國省代碼： | 吉林;22 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 光刻 物鏡 光學 元件 高精度 支撐 結構 | ||
【權利要求書】：
1.光刻物鏡中光學元件高精度支撐結構，包括鏡框（2）和整體彈片（3），其特征在于，所述整體彈片（3）與鏡框（2）之間通過若干螺釘（4）固定。
2.根據權利要求1所述的光刻物鏡中光學元件高精度支撐結構，其特征在于，所述鏡框（2）內環周向均勻分布三處徑向撓性彈片（2-1），所述三處徑向撓性彈片（2-1）和鏡框（2）為一體式結構。
3.根據權利要求2所述的光刻物鏡中光學元件高精度支撐結構，其特征在于，所述整體彈片（3）具有若干整體彈片支撐片（3-1），所述三處徑向撓性彈片（2-1）與若干整體彈片支撐片（3-1）沿周向均勻分布。
4.根據權利要求2所述的光刻物鏡中光學元件高精度支撐結構，其特征在于，所述三處徑向撓性彈片（2-1）支撐處的形狀與光學元件（1）下表面相適應。
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