[發(fā)明專利]薄膜沉積系統(tǒng)

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201210310716.2
• 申請日: 2012-08-28
• 公開（公告）號: CN102899719A
• 公開（公告）日: 2013-01-30
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 于伯淵;劉恒
• 申請（專利權(quán)）人: 綠種子材料科技股份有限公司
• 主分類號: C30B25/00
• 分類號: C30B25/00;C30B25/12;C23C16/458;C23C16/44
• 代理公司: 北京律誠同業(yè)知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11006
• 代理人: 梁揮;鮑俊萍

1.一種薄膜沉積系統(tǒng)，其特征在于，包含：

一載盤；

一中心盤，設(shè)置于該載盤的中心位置，該中心盤的周緣具有一中心斜面；及

至少一承載器，設(shè)置于該載盤上并位于中心盤外圍，分別用以承載至少一基板，該至少一承載器的周緣具有一承載斜面與該中心斜面接觸。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的薄膜沉積系統(tǒng)，其特征在于，當(dāng)該載盤旋轉(zhuǎn)帶動該至少一承載器對該載盤的一載盤中心軸進(jìn)行一公轉(zhuǎn)以及當(dāng)該中心盤固定不旋轉(zhuǎn)時，在該承載斜面與該中心斜面接觸下，使得該至少一承載器同時進(jìn)行一自轉(zhuǎn)。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的薄膜沉積系統(tǒng)，其特征在于，當(dāng)該載盤帶動該至少一承載器對該載盤的一載盤中心軸進(jìn)行一公轉(zhuǎn)時，可借由控制該中心盤一旋轉(zhuǎn)方向與速度，在該承載斜面與該中心斜面接觸下，調(diào)整該至少一承載器的一自轉(zhuǎn)方向與速度。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的薄膜沉積系統(tǒng)，其特征在于，當(dāng)該載盤固定不旋轉(zhuǎn)與該中心盤旋轉(zhuǎn)時，在該承載斜面與該中心斜面接觸下，使得該至少一承載器進(jìn)行一自轉(zhuǎn)。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的薄膜沉積系統(tǒng)，其特征在于，該至少一承載器中，只有一個承載器的承載斜面與中心斜面接觸，且任兩個承載器的該些承載斜面相互接觸并以相反的方向旋轉(zhuǎn)。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的薄膜沉積系統(tǒng)，其特征在于，該至少一承載器中，任兩個承載器的該些承載斜面相互接觸并以相反方向旋轉(zhuǎn)，其中一個承載斜面接觸該中心斜面，另一承載斜面未接觸該中心斜面。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的薄膜沉積系統(tǒng)，其特征在于，該中心斜面或該承載斜面為一粗糙表面。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的薄膜沉積系統(tǒng)，其特征在于，該中心斜面為半徑由上往下增加的態(tài)樣，該承載斜面為半徑由上往下縮小的態(tài)樣。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的薄膜沉積系統(tǒng)，其特征在于，該中心斜面為半徑由上往下縮小的態(tài)樣，該承載斜面為半徑由上往下增加的態(tài)樣。

10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的薄膜沉積系統(tǒng)，其特征在于，更包含一中心軸及至少一馬達(dá)，其中該中心軸包含有一內(nèi)層軸及一外層軸，分別連接該中心盤及該載盤，該至少一馬達(dá)連接該內(nèi)層軸及一外層軸，分別驅(qū)動該中心盤及該載盤旋轉(zhuǎn)。

11.根據(jù)權(quán)利要求1所述的薄膜沉積系統(tǒng)，其特征在于，更包含有：

一旋轉(zhuǎn)殼，連接該載盤；

一內(nèi)齒輪，設(shè)于該旋轉(zhuǎn)殼的底部；

一驅(qū)動齒輪，與該內(nèi)齒輪嚙合；及

一馬達(dá)，連接并驅(qū)動該外齒輪。

12.根據(jù)權(quán)利要求1所述的薄膜沉積系統(tǒng)，其特征在于，更包含一腔壁及一蓋體，其中該蓋體與該腔壁結(jié)合并設(shè)有一第一扣合件，該中心盤設(shè)有一第二扣合件；該第一扣合件與第二扣合件可結(jié)合而將該中心盤固定于該蓋體下方。