[發明專利]中階梯光柵光譜儀、原子發射光譜儀及光譜測試方法

有效

• 申請號: 201210310554.2
• 申請日: 2012-08-28
• 公開（公告）號: CN102879091A
• 公開（公告）日: 2013-01-16
• 發明（設計）人: 陳少杰;寧春麗;崔繼承;巴音賀希格;齊向東;唐玉國
• 申請（專利權）人: 中國科學院長春光學精密機械與物理研究所
• 主分類號: G01J3/28
• 分類號: G01J3/28;G01J3/443;G01N21/71
• 代理公司: 長春菁華專利商標代理事務所 22210
• 代理人: 王淑秋

1.一種中階梯光柵光譜儀，包括聚光鏡（1）、入射針孔（2）、準直鏡（3）、中階梯光柵（4）、交叉色散棱鏡（5）、聚焦鏡（6），箱體（7）和面陣探測器（8）；其特征在于還包括旋轉驅動機構（13），所述旋轉驅動機構（13）的旋轉軸與交叉色散棱鏡（5）固定連接。

2.根據權利要求1所述的中階梯光柵光譜儀，其特征在于所述箱體（7）的內表面涂黑。

3.根據權利要求1或2所述的中階梯光柵光譜儀，其特征在于所述中階梯光柵（4）和交叉色散棱鏡（5）的光入射面前分別設置第一光闌（10）和第二光闌（9）。

4.一種以權利要求1所述中階梯光柵光譜儀為分光模塊的原子發射光譜儀。

5.一種利用權利要求4所述原子發射光譜儀進行光譜測試的方法，包括下述步驟：

一、向中階梯光柵光譜儀箱體（7）內充入氬氣；

二、打開原子發射光譜儀的固態式ICP光源（12），利用旋轉驅動機構（13）改變交叉色散棱鏡（5）的角度使入射角度在27.56°±0.05°范圍內；

三、利用Ar的特征譜線對交叉色散棱鏡角度進行精確定位，實現200nm-400nm波段范圍的譜線標定；

四、將化學樣品放置于樣品池（11）內，對化學樣品200nm-400nm的譜線進行測試；

五、利用旋轉驅動機構（13）改變交叉色散棱鏡（5）的角度使入射角度在27.10°±0.02°范圍內；

六、利用Ar的特征譜線對交叉色散棱鏡（5）的角度進行精確定位，實現400nm-900nm波段范圍的譜線標定；

七、對化學樣品的400nm-900nm譜線進行測試。