[發明專利]一種處理LED芯片多金異常的方法無效
| 申請號： | 201210308838.8 | 申請日： | 2012-08-27 |
| 公開（公告）號： | CN103633195A | 公開（公告）日： | 2014-03-12 |
| 發明（設計）人： | 樊邦揚 | 申請（專利權）人： | 鶴山麗得電子實業有限公司 |
| 主分類號： | H01L33/00 | 分類號： | H01L33/00 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 529728 廣東省江*** | 國省代碼： | 廣東;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 處理 led 芯片 異常 方法 | ||
【權利要求書】：
1.一種處理LED芯片多金異常的方法，其特征在于包括如下步驟：
（a）、使用光阻覆蓋芯片，并通過黃光制程得到圖形以保護電極；
（b）、將電極已被保護的芯片放入至含碘的碘化鉀溶液中腐蝕；
（c）、等多金異常被腐蝕完后將芯片取出，清洗并吹干；
（d）、芯片吹干后放入去光阻液中去除光阻;
2.根據權利要求1所述的方法，其特征在于：碘化鉀溶液中主要成份為K+、I-、I2和水。
3.根據權利要求2所述的方法，其特征在于：所述碘化鉀溶液中不含其它酸類物質。
4.根據權利要求1所述的方法，其特征在于：保護電極的光阻圖形邊沿比電極邊沿尺寸大2-8um。
5.根據權利要求4所述的方法，其特征在于：保護電極的光阻圖形邊沿比電極邊沿尺寸大5um。
6.根據權利要求1所述的方法，其特征在于：所述芯片去除光阻后下一步驟包括將芯片放入去離子水中進行清洗并吹干。
7.根據權利要求1所述的方法，其特征在于：所述碘化鉀溶液腐蝕后用熱水清洗芯片。
8.根據權利要求1所述的方法，其特征在于：使用常溫碘化鉀溶液進行腐蝕。
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