[發(fā)明專利]基于氧化鋅薄膜的丙酮蒸汽氣敏傳感元件的制備方法

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201210308812.3
• 申請日: 2012-08-28
• 公開（公告）號: CN102828156A
• 公開（公告）日: 2012-12-19
• 發(fā)明（設計）人: 何平;陳翠欣;楊帆;張炳強;潘國峰
• 申請（專利權）人: 河北工業(yè)大學
• 主分類號: C23C14/34
• 分類號: C23C14/34;C23C14/08;G01N27/12
• 代理公司: 天津市三利專利商標代理有限公司 12107
• 代理人: 仝林葉

1.一種基于氧化鋅薄膜的丙酮蒸汽氣敏傳感元件的制備方法，其特征是，在超高真空多功能射頻磁控濺射設備上，按照下述步驟進行：

（1）將純度均為99.99%的Zn靶材放在直流濺射靶上,將清洗好的Al₂O₃陶瓷管放在樣品托上，關閉真空室；

（2）濺射前將系統(tǒng)抽為真空，過程如下：啟動機械泵，機械泵對磁控濺射室進行抽氣，當真空計指針達到1-30Pa時，啟動分子泵，利用分子泵對磁控濺射室進行抽真空，直至系統(tǒng)的氣壓達到5×10^-3-6×10^-4pa；

（3）抽完真空后，打開氧氣和氬氣的氣路閥門，向系統(tǒng)中通入這兩種氣體，其0₂：Ar=1：2，使系統(tǒng)中壓強達到0.2-0.8pa；

（4）通入氣體后，給陶瓷管載片加熱，溫度達到250℃；

（5）最后開始濺射：Zn靶和載片間電壓為300-400V，濺射電流為0.1-0.3A，剛開始要預濺射8-12分鐘，然后再計時濺射，濺射過程持續(xù)20分鐘；

（6）濺射完后讓系統(tǒng)的溫度冷卻至室溫，然后向真空室充入氮氣，達到10⁵Pa時打開真空室取出樣品。