[發(fā)明專(zhuān)利]一種圓片級(jí)LED封裝方法有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201210306275.9 | 申請(qǐng)日: | 2012-08-24 |
| 公開(kāi)(公告)號(hào): | CN102832331A | 公開(kāi)(公告)日: | 2012-12-19 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 張黎;陳棟;賴(lài)志明;陳錦輝 | 申請(qǐng)(專(zhuān)利權(quán))人: | 江陰長(zhǎng)電先進(jìn)封裝有限公司 |
| 主分類(lèi)號(hào): | H01L33/62 | 分類(lèi)號(hào): | H01L33/62;H01L33/64 |
| 代理公司: | 南京經(jīng)緯專(zhuān)利商標(biāo)代理有限公司 32200 | 代理人: | 樓然 |
| 地址: | 214429 江蘇省無(wú)錫市江*** | 國(guó)省代碼: | 江蘇;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 一種 圓片級(jí) led 封裝 方法 | ||
技術(shù)領(lǐng)域
本發(fā)明涉及一種圓片級(jí)芯片封裝方法,屬于半導(dǎo)體芯片封裝技術(shù)領(lǐng)域。
背景技術(shù)
LED(發(fā)光二極管)是一種能夠?qū)㈦娔苻D(zhuǎn)化為可見(jiàn)光的固態(tài)的半導(dǎo)體器件,其被廣泛應(yīng)用于照明、液晶背光板、控制面板、閃光裝置等領(lǐng)域。
LED(發(fā)光二極管)由P-N結(jié)組成。目前,LED封裝主要以單顆芯片通過(guò)打線(xiàn)(即引線(xiàn)鍵合方式)和倒裝鍵合的方式進(jìn)行,存在以下不足:
1)引線(xiàn)鍵合式封裝
引線(xiàn)的位置會(huì)遮掉并損失光強(qiáng),引線(xiàn)鍵合方式封裝的散熱基座都在芯片背部,散熱效果并不理想,特別是高亮度的LED,引線(xiàn)鍵合方式封裝的封裝尺寸相對(duì)較大,不利于其在便攜式產(chǎn)品中的應(yīng)用。其次,單顆芯片的封裝形式生產(chǎn)效率低,產(chǎn)品一致性難以保證,導(dǎo)致產(chǎn)品的測(cè)試結(jié)果分類(lèi)較多,影響工廠(chǎng)的產(chǎn)品實(shí)際輸出。
2)貼裝式圓片級(jí)LED封裝
隨著人們對(duì)引線(xiàn)鍵合方式LED封裝的認(rèn)識(shí)加深,以圓片為載體的LED封裝技術(shù)開(kāi)始發(fā)展起來(lái),但在目前的技術(shù)發(fā)展中,圓片級(jí)LED封裝基本采用硅通孔(Through?Silicon?Via)互聯(lián)方法,利用TSV(硅通孔)結(jié)構(gòu)實(shí)現(xiàn)LED電極的背面轉(zhuǎn)移和分布,其工藝難度較大,封裝成本較高,散熱的有效區(qū)域受約束,不利于產(chǎn)業(yè)化發(fā)展。
發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于克服上述不足,提供一種封裝工藝難度低、封裝成本低、提升散熱能力、適于便攜式產(chǎn)品中應(yīng)用的圓片級(jí)LED芯片封裝方法。
本發(fā)明的目的是這樣實(shí)現(xiàn)的:一種圓片級(jí)LED封裝方法,包括以下工藝步驟:
步驟一、切割LED圓片,形成單顆的LED芯片;
步驟二、準(zhǔn)備硅基載體;
步驟三、通過(guò)光刻、刻蝕的方法在硅基載體的正面形成下凹的型腔;
步驟四、在型腔表面和硅基載體上表面沉積反光層,并在型腔底部的反光層上形成反光層開(kāi)口;
步驟五、在型腔底部的反光層開(kāi)口內(nèi)涂布連結(jié)膠,并將LED芯片倒裝至型腔底部,電極朝下,電極對(duì)應(yīng)反光層開(kāi)口;
步驟六、取玻璃,在玻璃的下表面涂布熒光粉層;
步驟七、在型腔內(nèi)填滿(mǎn)填充膠,并將上述帶有熒光粉層的玻璃與硅基載體通過(guò)填充膠鍵合;
步驟八、對(duì)上述硅基載體的背面進(jìn)行減薄至下一工藝需要的厚度;
步驟九、利用光刻、刻蝕的方法去除上述硅基載體背面的硅和部分連結(jié)膠,并形成硅孤島;
步驟十、在上述硅基載體的背面用光刻、刻蝕的方法形成感光樹(shù)脂層Ⅰ;
步驟十一、利用光刻、電鍍的方法在上述感光樹(shù)脂層Ⅰ的背面形成再布線(xiàn)金屬層和在硅孤島的下表面形成金屬塊,再布線(xiàn)金屬層與電極Ⅰ、電極Ⅱ連接;?
步驟十二、在上述封裝體的下表面涂布感光樹(shù)脂層Ⅱ,利用光刻、刻蝕的方法形成感光樹(shù)脂開(kāi)口,露出金屬塊和再布線(xiàn)金屬層的部分區(qū)域。
在步驟三和步驟九中,對(duì)硅基載體的刻蝕采用干法或濕法刻蝕。
在步驟六中,所述玻璃上熒光粉層的涂布采用噴涂或旋涂的方式。
在步驟七中,所述填充膠的設(shè)置采用印刷或點(diǎn)膠的方式,并且鍵合過(guò)程在真空條件下進(jìn)行。
本發(fā)明的上述封裝方法使硅基載體的正面形成下凹的型腔、背面形成硅孤島和呈島結(jié)構(gòu)的感光樹(shù)脂層Ⅰ,硅孤島與型腔的底部跨接,LED芯片倒裝至型腔底部,與硅孤島粘接,散熱用金屬塊設(shè)置在硅孤島的下表面,感光樹(shù)脂層Ⅰ覆蓋在硅基載體的下表面,其高度與硅孤島齊平,利用光刻、電鍍的方法形成的再布線(xiàn)金屬層成形于感光樹(shù)脂層Ⅰ的背面,再布線(xiàn)金屬層與電極Ⅰ、電極Ⅱ連接,將LED芯片信號(hào)引至硅基載體的背面。
本發(fā)明的有益效果是:
1、硅基載體背面的硅孤島與型腔的底部跨接,LED芯片與硅孤島粘接,硅孤島支撐LED芯片于硅基載體的型腔底部,加強(qiáng)了封裝體的牢固度。
2、硅孤島下表面設(shè)置的金屬塊主要起散熱作用,與電極Ⅰ、電極Ⅱ連接的再布線(xiàn)金屬層,既起導(dǎo)電作用,又提升了封裝體的散熱功能。
3、本發(fā)明的封裝結(jié)構(gòu)采用非TSV結(jié)構(gòu),從工藝上降低了LED芯片封裝難度,降低封裝工藝成本,實(shí)現(xiàn)了LED芯片封裝的高導(dǎo)電、導(dǎo)熱性能,同時(shí)滿(mǎn)足標(biāo)準(zhǔn)的表面貼裝工藝,適于便攜式產(chǎn)品中應(yīng)用。
附圖說(shuō)明
圖1為本發(fā)明一種圓片級(jí)LED封裝結(jié)構(gòu)的示意圖。
圖2~圖12為本發(fā)明一種圓片級(jí)LED封裝方法的示意圖。
圖中:?
LED芯片1
芯片本體11
電極12
電極Ⅰ121
電極Ⅱ122
連結(jié)膠13
硅基載體2
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H01L 半導(dǎo)體器件;其他類(lèi)目中不包括的電固體器件
H01L33-00 至少有一個(gè)電位躍變勢(shì)壘或表面勢(shì)壘的專(zhuān)門(mén)適用于光發(fā)射的半導(dǎo)體器件;專(zhuān)門(mén)適用于制造或處理這些半導(dǎo)體器件或其部件的方法或設(shè)備;這些半導(dǎo)體器件的零部件
H01L33-02 .以半導(dǎo)體為特征的
H01L33-36 .以電極為特征的
H01L33-44 .以涂層為特征的,例如鈍化層或防反射涂層
H01L33-48 .以半導(dǎo)體封裝體為特征的
H01L33-50 ..波長(zhǎng)轉(zhuǎn)換元件
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