[發明專利]硼擴散用爐管的清洗方法有效
| 申請號： | 201210303447.7 | 申請日： | 2012-08-23 |
| 公開（公告）號： | CN102784775A | 公開（公告）日： | 2012-11-21 |
| 發明（設計）人： | 崔景光;劉旭;寇繼成;王海亮 | 申請（專利權）人： | 英利能源（中國）有限公司 |
| 主分類號： | B08B9/027 | 分類號： | B08B9/027 |
| 代理公司： | 北京康信知識產權代理有限責任公司 11240 | 代理人： | 吳貴明;余剛 |
| 地址： | 071051 河*** | 國省代碼： | 河北;13 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 擴散 爐管 清洗 方法 | ||
1.一種硼擴散用爐管的清洗方法，其特征在于，包括以下步驟：
1）按體積比75:1~1:1向硼擴散用爐管中通入氮氣和攜源氮氣，持續30分鐘以上，其中，所述攜源氮氣中攜帶有純水蒸氣；
2）停止通入所述氮氣和攜源氮氣，完成清洗。
2.根據權利要求1所述的清洗方法，其特征在于，所述步驟1）包括：
將所述爐管內的溫度升至860~960℃，將攜帶有純水蒸氣的攜源氮氣通入所述爐管對所述爐管進行清洗。
3.根據權利要求2所述的清洗方法，其特征在于，所述攜帶有純水蒸氣的攜源氮氣的通入流量為0.2~5slm。
4.根據權利要求1所述的清洗方法，其特征在于，所述步驟1）之前進一步包括：
將硼擴散源瓶換成純水源瓶或外接設置純水源瓶，將氮氣通入所述純水源瓶形成所述攜源氮氣。
5.根據權利要求4所述的清洗方法，其特征在于，控制所述純水源瓶內的水溫在15~30℃。
6.根據權利要求2所述的清洗方法，其特征在于，所述步驟1）是在將所述擴散爐的爐門關閉的條件下將所述爐管內的溫度連續升至860~960℃。
7.根據權利要求2所述的清洗方法，其特征在于，在所述步驟1）的升溫過程中，所述爐管內保持氮氣氣氛。
8.根據權利要求2所述的清洗方法，其特征在于，控制所述步驟1）的時間在30~180min。
9.根據權利要求2所述的清洗方法，其特征在于，所述步驟2）之后進一步包括：
待所述爐管內的溫度降至750℃~850℃，通入氮氣吹掃所述爐管。
10.根據權利要求1所述的清洗方法，其特征在于，每3~30天對所述爐管進行清洗一次。
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