[發明專利]用于X射線光電子能譜測量的非導電樣品的制備方法無效
| 申請號： | 201210297402.3 | 申請日： | 2012-08-20 |
| 公開（公告）號： | CN102818721A | 公開（公告）日： | 2012-12-12 |
| 發明（設計）人： | 崔云 | 申請（專利權）人： | 中國科學院上海光學精密機械研究所 |
| 主分類號： | G01N1/28 | 分類號： | G01N1/28 |
| 代理公司： | 上海新天專利代理有限公司 31213 | 代理人： | 張澤純 |
| 地址： | 201800 上海*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 用于 射線 光電子 測量 導電 樣品 制備 方法 | ||
【權利要求書】：
1.一種用于X射線光電子能譜測量的非導電樣品的制備方法，其特征在于：該方法是在非導電樣品測試區周圍增加導電鏈接，所述的導電鏈接為涂導電膜、鍍導電膜或緊貼導電掩膜。
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