[發(fā)明專利]成膜方法

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201210296623.9
• 申請日: 2009-02-18
• 公開（公告）號: CN102820222A
• 公開（公告）日: 2012-12-12
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 河野有美子;有馬進;柿本明修;廣田俊幸;清村貴利
• 申請（專利權(quán)）人: 東京毅力科創(chuàng)株式會社;爾必達存儲器株式會社
• 主分類號: H01L21/316
• 分類號: H01L21/316;C23C16/40;H01L21/31;H01L21/8242;H01L27/108
• 代理公司: 北京尚誠知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11322
• 代理人: 龍淳

1.一種成膜方法，其特征在于，包括：

在處理容器內(nèi)配置基板的工序；

向所述處理容器內(nèi)導(dǎo)入含有第一金屬的氣態(tài)第一有機金屬化合物原料、含有第二金屬的氣態(tài)第二有機金屬化合物原料和氧化劑的工序，

在基板上形成AxByOz型的氧化物膜，

作為第一有機金屬化合物原料，使用有機配體被氧化劑分解而產(chǎn)生CO的化合物，

重復(fù)進行多次第一成膜階段和第二成膜階段，

第一成膜階段包括向所述處理容器內(nèi)導(dǎo)入所述第一有機金屬化合物原料的工序、向所述處理容器內(nèi)導(dǎo)入所述氧化劑的工序、以及在這些工序后對處理容器內(nèi)進行清掃，

第二成膜階段包括向所述處理容器內(nèi)導(dǎo)入所述第二有機金屬化合物原料的工序、向所述處理容器內(nèi)導(dǎo)入所述氧化劑的工序、以及在這些工序后對處理容器內(nèi)進行清掃，

所述第一成膜階段重復(fù)不超過5次。

2.如權(quán)利要求1所述的成膜方法，其特征在于：

所述第一有機金屬化合物原料是環(huán)戊二烯化合物或酰胺類化合物。

3.如權(quán)利要求1所述的成膜方法，其特征在于：

所述第二有機金屬化合物是金屬醇鹽。

4.如權(quán)利要求1所述的成膜方法，其特征在于：

所述氧化劑是氣態(tài)的O₃或者O₂。

5.如權(quán)利要求1所述的成膜方法，其特征在于：

所述第一有機金屬化合物是Sr化合物，所述第二有機金屬化合物是Ti化合物，所述AxByOz型的氧化物膜是Sr-Ti-O系膜。