[發明專利]具有熱防護件的化學氣相沉積裝置

有效

• 申請號: 201210295798.8
• 申請日: 2012-08-17
• 公開（公告）號: CN103374712A
• 公開（公告）日: 2013-10-30
• 發明（設計）人: 柳鍾賢;洪思仁;崔珉鎬
• 申請（專利權）人: 塔工程有限公司
• 主分類號: C23C16/44
• 分類號: C23C16/44;C23C16/46
• 代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司 11227
• 代理人: 武樹辰;王婧

1.一種化學氣相沉積裝置，所述化學氣相沉積裝置具有反應室和基座，所述基座由基座支承軸支承在所述反應室中，所述化學氣相沉積裝置包括：

熱防護件，所述熱防護件用于阻隔從所述基座的下方的一部分或從所述基座支承軸輻射的輻射熱。

2.根據權利要求1所述的化學氣相沉積裝置，其中，所述熱防護件包括：

圓筒形的第一防護板；以及

第二防護板，所述第二防護板聯接至所述第一防護板，所述第二防護板設置在所述基座的下方并且在所述第二防護板的中央部分處是開放的。

3.根據權利要求2所述的化學氣相沉積裝置，其中，所述基座支承軸以穿過所述第一防護板的方式設置在所述第一防護板的內部。

4.根據權利要求2或3所述的化學氣相沉積裝置，還包括：

輔助防護件，所述輔助防護件以與所述第一防護板間隔開的方式設置在所述第一防護板的下方，所述輔助防護件阻隔從所述基座的中央部分朝向所述反應室的底部輻射的熱量。

5.根據權利要求1所述的化學氣相沉積裝置，其中，所述熱防護件呈圓筒形狀設置在所述基座支承軸的外側。

6.根據權利要求5所述的化學氣相沉積裝置，其中，所述熱防護件包括：

圓筒形的下部防護件；以及

上部防護件，所述上部防護件聯接至所述下部防護件的頂部，所述下部防護件和所述上部防護件由不同的材料制成，所述下部防護件的傳熱系數低于所述上部防護件的傳熱系數。

7.根據權利要求6所述的化學氣相沉積裝置，還包括：

上部輻射熱防護件，所述上部輻射熱防護件呈環形地設置在所述基座的下方。

8.根據權利要求2或7所述的化學氣相沉積裝置，其中，所述反應室包括保護殼以保護所述基座的下方的元件，并且在所述保護殼的頂部上設置有頂板，所述頂板的中央部分是開放的，并且所述第二防護板或所述上部輻射熱防護件保持在所述保護殼上或聯接至所述保護殼。