[發(fā)明專利]電熔絲及其編程方法

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201210290672.1
• 申請日: 2012-08-15
• 公開（公告）號: CN103633065A
• 公開（公告）日: 2014-03-12
• 發(fā)明（設計）人: 譚穎;張可鋼;陳廣龍
• 申請（專利權）人: 上海華虹宏力半導體制造有限公司
• 主分類號: H01L23/525
• 分類號: H01L23/525;H01L21/768
• 代理公司: 上海浦一知識產(chǎn)權代理有限公司 31211
• 代理人: 殷曉雪

1.一種電熔絲，由位于下方的金屬層一、位于上方的金屬層二和連接兩者的通孔電極所組成；其特征是，

所述金屬層一上具有多個串聯(lián)的熔絲部；

所述金屬層二上具有多根連線；

所述通孔電極連接每個熔絲部的一端與一根連線。

2.根據(jù)權利要求1所述的電熔絲，其特征是，所述連線的數(shù)量等于通孔電極的數(shù)量，均為熔絲部的數(shù)量加一。

3.根據(jù)權利要求1所述的電熔絲，其特征是，所述金屬層一上還包括走線部和熔絲連接部；所述走線部的寬度顯著大于熔絲部的寬度，所述熔絲連接部的寬度在兩者之間漸變；每個熔絲部的兩端都具有熔絲連接部。

4.根據(jù)權利要求3所述的電熔絲，其特征是，對于n個串聯(lián)的熔絲部，n為大于或等于2的自然數(shù)；所述金屬層一上，按照走線部、熔絲連接部、第一熔絲部、熔絲連接部、走線部、熔絲連接部、第二熔絲部、熔絲連接部、走線部、……的方式以此連接。

5.如權利要求1所述的電熔絲的編程方法，其特征是：每次都在一個熔絲部的兩端施加不同電位，以使編程電流流過該熔絲部；對每一個熔絲部重復上述操作；最后在多個串聯(lián)的熔絲部的兩端施加不同電位，以判斷是否有電流經(jīng)過；如果沒有電流經(jīng)過則表明編程成功；反之表明編程失敗。