[發明專利]泡生法生長大尺寸藍寶石晶體引晶過程控制方法有效
| 申請號: | 201210289114.3 | 申請日: | 2012-08-15 |
| 公開(公告)號: | CN102797033A | 公開(公告)日: | 2012-11-28 |
| 發明(設計)人: | 張會選;王先進;胡海平;杜剛;程興發 | 申請(專利權)人: | 四川欣藍光電科技有限公司 |
| 主分類號: | C30B17/00 | 分類號: | C30B17/00;C30B29/20 |
| 代理公司: | 成都頂峰專利事務所(普通合伙) 51224 | 代理人: | 成實 |
| 地址: | 620599 四川*** | 國省代碼: | 四川;51 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 泡生法 生長 尺寸 藍寶石 晶體 過程 控制 方法 | ||
1.泡生法生長大尺寸藍寶石晶體引晶過程控制方法,其特征在于,主要由以下步驟組成:
(1)將直徑為10~20mm籽晶的下端伸入融化的氧化鋁中,籽晶微熔后,晶轉10~30min使籽晶的下端生成晶體;
(2)向上提拉籽晶2~10mm后,晶轉10~30min;
(3)重復步驟(2)3~10次;
(4)向上提拉籽晶2~10mm后,晶轉使晶體直徑增加1~10mm;?
(5)重復步驟(4),當晶體的高度達到20~50mm時停止。
2.根據權利要求1所述的泡生法生長大尺寸藍寶石晶體引晶過程控制方法,其特征在于:所述晶轉的溫度≥2050℃,晶轉的轉速為2~8r∕min。
3.根據權利要求1或2所述的泡生法生長大尺寸藍寶石晶體引晶過程控制方法,其特征在于:所述籽晶下端伸入融化的氧化鋁中的長度為2~10mm。
4.根據權利要求3所述的泡生法生長大尺寸藍寶石晶體引晶過程控制方法,其特征在于:所述步驟(3)中重復的次數為5~10次。
5.根據權利要求4所述的泡生法生長大尺寸藍寶石晶體引晶過程控制方法,其特征在于:上述步驟中的壓強均不高于0.006帕。
6.根據權利要求5所述的泡生法生長大尺寸藍寶石晶體引晶過程控制方法,其特征在于:所述氧化鋁的純度高于99.99%。
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