[發明專利]化學品自動排氣泡系統及方法

無效

• 申請號: 201210286994.9
• 申請日: 2012-08-14
• 公開（公告）號: CN103591459A
• 公開（公告）日: 2014-02-19
• 發明（設計）人: 趙佩英
• 申請（專利權）人: 蘇州和覽電子科技有限公司
• 主分類號: F17D1/08
• 分類號: F17D1/08
• 代理公司: 蘇州威世朋知識產權代理事務所(普通合伙) 32235
• 代理人: 楊林潔

技術領域

本發明涉及化學液劑供應系統，尤其涉及一種利用液體偵測及外界施壓的化學品自動排氣泡系統及方法。

背景技術

隨著集成電路技術的飛速發展，芯片集成度在不斷提高，芯片面積在不斷縮小，由此對集成電路制造工藝也提出了更高的要求。“蝕刻”作為當前集成電路工序的一個重要環節，其對于集成電路的集成度提高起著重要的作用。在這個過程中，光阻液劑是這道工序必不可少的制備材料，通過光阻的覆蓋、曝光、顯影等步驟完成蝕刻，進而為后續制造工序提供可能。

然而，光阻液劑在使用過程中，必須保證一定的純度，其中不能摻雜有空氣等雜質。在現有技術中，光阻液劑被儲納于光阻瓶中，通過人工來設定排氣泡的時間及控制排氣泡整個過程，由于人工判斷的不穩定性，往往出現在瓶體已經排氣泡完成后，光阻液劑還在繼續從瓶體的排液管端排出的現象，這勢必造成不必要的液劑浪費，且此方式通過人工判斷進液管端的液劑是否用空，不免因認為疏忽，發生光阻瓶后端出液管用空，導致光阻液劑不純的后果，最終給生產帶來不必要的損失。

發明內容

為解決上述技術問題，本發明的目的在于提供一種可自動偵測并完成排氣泡的化學品自動排氣泡系統。

相應地，本發明還提供一種應用上述系統的自動排氣泡方法。

為實現上述發明目的，本發明采用的技術方案如下：一種化學品自動排氣泡系統，所述系統包括：

一用于儲存化學品的儲液罐，其一端管路上設置有加壓閥；

一緩沖瓶，其與所述儲液罐相連通，該緩沖瓶上設有與瓶體相連通的進液管、出液管及排液管，其中，在進液管端設置有第一液體偵測器，在排液管端設置有第二液體偵測器及排液閥；?

一控制器，其根據所述第一、第二液體偵測器的激發狀態來控制所述加壓閥及排液閥的開啟或關閉。

作為本發明的進一步改進，所述進液管、排液管設置于所述緩沖瓶的頂部，所述出液管設置于所述緩沖瓶的底部。

作為本發明的進一步改進，所述第一液體偵測器設置于所述進液管管體內、或所述緩沖瓶瓶體內。

作為本發明的進一步改進，所述排液閥設置于所述第二液體偵測器下方。

作為本發明的進一步改進，所述系統還包括與所述控制器相連接的人機界面。

作為本發明的進一步改進，所述化學品包括光阻液劑。

相應地，本發明還提供的一種自動排氣泡方法，其包括如下步驟：

S1、判斷第一液體偵測器是否被激發，若是，進入步驟S2，若否，不作操作；

S2、開啟加壓閥，并在等待第一時間間隔后開啟排液閥；

S3、等待第二液體偵測器的激發，在第二液體偵測器被激發后，關閉所述排液閥及加壓閥。

作為本發明的進一步改進，在所述步驟S2之后，該方法還包括：在排液閥被開啟時刻起，設定一第二時間間隔，判斷所述第一、第二液體偵測器是否在所述第二時間間隔內被激發，若是，繼續排氣泡動作；若否，系統報錯。

作為本發明的進一步改進，所述步驟S3還具體包括：設定一第三時間間隔，在第二液體偵測器被激發后等待所述第三時間間隔后，再關閉所述排液閥及加壓閥。

作為本發明的進一步改進，該方法還包括：判斷當前第二液體偵測器被激發時刻是否處于系統自動排氣泡時段內，若是，繼續進行排氣泡動作，若否，系統報警。

與現有技術相比，本發明的自動排氣泡系統通過第一液體偵測器偵測化學品的用空狀態，并通過控制器自動開啟排液閥以實現排氣泡動作，并通過第二液體偵測器偵測排氣完成狀態，及時關閉排液閥以避免化學液劑的浪費，化學品的純度較高，且整個過程實現自動控制，避免人為因素所導致的事故。

附圖說明

圖1是本發明具體實施方式中化學品自動排氣泡系統的結構示意圖；

圖2是本發明具體實施方式中緩沖瓶的結構示意圖；

圖3是本發明具體實施方式中緩沖瓶排泡時的狀態示意圖；

圖4是本發明具體實施方式中緩沖瓶排泡結束時的狀態示意圖；

圖5是本發明具體實施方式中化學品自動排氣方法的流程圖。

具體實施方式

以下將結合附圖所示的具體實施方式對本發明進行詳細描述。但這些實施方式并不限制本發明，本領域的普通技術人員根據這些實施方式所做出的結構、方法、或功能上的變換均包含在本發明的保護范圍內。