[發明專利]化學品自動排氣泡系統及方法

無效

• 申請號: 201210286994.9
• 申請日: 2012-08-14
• 公開（公告）號: CN103591459A
• 公開（公告）日: 2014-02-19
• 發明（設計）人: 趙佩英
• 申請（專利權）人: 蘇州和覽電子科技有限公司
• 主分類號: F17D1/08
• 分類號: F17D1/08
• 代理公司: 蘇州威世朋知識產權代理事務所(普通合伙) 32235
• 代理人: 楊林潔

1.一種化學品自動排氣泡系統，其特征在于，所述系統包括：

一用于儲存化學品的儲液罐，其一端管路上設置有加壓閥；

一緩沖瓶，其與所述儲液罐相連通，該緩沖瓶上設有與瓶體相連通的進液管、出液管及排液管，其中，在進液管端設置有第一液體偵測器，在排液管端設置有第二液體偵測器及排液閥；?

一控制器，其根據所述第一、第二液體偵測器的激發狀態來控制所述加壓閥及排液閥的開啟或關閉。

2.根據權利要求1所述的化學品自動排氣泡系統，其特征在于，所述進液管、排液管設置于所述緩沖瓶的頂部，所述出液管設置于所述緩沖瓶的底部。

3.根據權利要求1所述的化學品自動排氣泡系統，其特征在于，所述第一液體偵測器設置于所述進液管管體內、或所述緩沖瓶瓶體內。

4.根據權利要求3所述的化學品自動排氣泡系統，其特征在于，所述排液閥設置于所述第二液體偵測器下方。

5.根據權利要求1所述的化學品自動排氣泡系統，其特征在于，所述系統還包括與所述控制器相連接的人機界面。

6.根據權利要求1所述的化學品自動排氣泡系統，其特征在于，所述化學品包括光阻液劑。

7.一種應用權利要求1所述的化學品自動排氣泡系統的自動排氣泡方法，其特征在于，該方法包括如下步驟：

S1、判斷第一液體偵測器是否被激發，若是，進入步驟S2，若否，不作操作；

S2、開啟加壓閥，并在等待第一時間間隔后開啟排液閥；

S3、等待第二液體偵測器的激發，在第二液體偵測器被激發后，關閉所述排液閥及加壓閥。

8.根據權利要求7所述的自動排氣泡方法，其特征在于，在所述步驟S2之后，該方法還包括：

在排液閥被開啟時刻起，設定一第二時間間隔，判斷所述第一、第二液體偵測器是否在所述第二時間間隔內被激發，若是，繼續排氣泡動作；若否，系統報錯。

9.根據權利要求7所述的自動排氣泡方法，其特征在于，所述步驟S3還具體包括：設定一第三時間間隔，在第二液體偵測器被激發后等待所述第三時間間隔后，再關閉所述排液閥及加壓閥。

10.根據權利要求8所述的自動排氣泡方法，其特征在于，該方法還包括：

判斷當前第二液體偵測器被激發時刻是否處于系統自動排氣泡時段內，若是，繼續進行排氣泡動作，若否，系統報警。