[發明專利]有機電致發光二極管有機材料蒸鍍用掩模裝置

有效

• 申請號: 201210284911.2
• 申請日: 2012-08-10
• 公開（公告）號: CN102776473A
• 公開（公告）日: 2012-11-14
• 發明（設計）人: 吳泰必;吳元均
• 申請（專利權）人: 深圳市華星光電技術有限公司
• 主分類號: C23C14/04
• 分類號: C23C14/04;H01L51/56
• 代理公司: 深圳市德力知識產權代理事務所 44265
• 代理人: 林才桂

技術領域

本發明涉及有機電致發光二極管(OLED)，尤其涉及一種有機電致發光二極管有機材料蒸鍍用掩模裝置。

背景技術

有機發光二極管或有機發光顯示器(Organic?Light?Emitting?Diode?Display，OLED)又稱為有機電致發光二極管，是自20世紀中期發展起來的一種新型顯示技術。與液晶顯示器相比，有機電致發光二極管具有全固態、主動發光、高亮度、高對比度、超薄、低成本、低功耗、快速響應、寬視角、工作溫度范圍寬、易于柔性顯示等諸多優點。有機電致發光二極管的結構一般包括：基板、陽極、陰極和有機功能層，其發光原理是通過陽極和陰極間蒸鍍的非常薄的多層有機材料，由正負載流子注入有機半導體薄膜后復合產生發光。有機電致發光二極管的有機功能層，一般由三個功能層構成，分別為空穴傳輸功能層(Hole?Transmittion?Layer，HTL)、發光功能層(Emissive?Layer，EML)、電子傳輸功能層(Electron?Transmittion?Layer，ETL)。每個功能層可以是一層，或者一層以上，例如空穴傳輸功能層，有時可以細分為空穴注入層和空穴傳輸層；電子傳輸功能層，可以細分為電子傳輸層和電子注入層，但其功能相近，故統稱為空穴傳輸功能層，電子傳輸功能層。

目前，全彩有機電致發光二極管的制作方法以紅綠藍(RGB)三色并列獨立發光法、白光加彩色濾光片法、色轉換法三種方式為主，其中紅綠藍三色并列獨立發光法最有潛力，實際應用最多。

在以紅綠藍三色并列獨立發光法制作有機電致發光二極管的制作過程中，需要使用金屬掩模板來達到對玻璃基板上發光層的發光像素部分區域蒸鍍有機材料以實現彩色顯示。金屬掩模板的開口大小取決于待蒸鍍的有機電致發光二極管玻璃基板的發光層的大小，蒸鍍前位于玻璃基板下方的磁盤吸附金屬掩模板使其完全平貼玻璃基板上，進而避免陰影效應(shadow?effect)的產生而影響蒸鍍質量。然而，由于金屬掩模板的開口有效區塊與無效區塊質量不同，導致磁力吸附金屬掩模板時造成質量不同的區塊吸附先后順序不一，使掩模板開口未能有效平貼于固定指定位置。而且，隨著有機電致發光二極管的發展，尤其是主動矩陣式有機發光二極管(Active?Matrix?Organic?Light?Emitting?Diode，AMOLED)的發展，有機電致發光二極管產品尺寸及玻璃基板尺寸都在不斷增加，這就要求蒸鍍金屬掩模板的尺寸不斷增大，但是金屬掩模板一般都很薄(一般不超過50um)，而且有機電致發光二極管蒸鍍工藝要求金屬掩模板和玻璃基板之間要有很高的對位精度(金屬掩模板單元器件與玻璃基板的像素單元之間對位誤差在-3um～+3um)，因此，隨著有機電致發光二極管大尺寸化的生產，往往會產生由于金屬掩模板與玻璃基板之間對位不準導致有機材料蒸鍍到其他區域，造成產品不良，極大影響了生產效率和生產成本。

發明內容

本發明的目的在于提供一種有機電致發光二極管有機材料蒸鍍用掩模裝置，所述裝置的掩模板無效區通過設置開口使該無效區質量和所述掩模板有效區質量不存在差異，從而解決了磁盤吸附時因掩模板有效區和無效區的質量不同造成的吸附順序差異，及由此產生的像素位置偏移的問題，并通過設置掩蓋板避免了有機材料附著于基板的非蒸鍍區。

為實現上述目的，本發明提供一種有機電致發光二極管有機材料蒸鍍用掩模裝置，包括：一掩模框架、安裝于該掩模框架相對兩邊框朝向蒸鍍面側的掩蓋板及貼合于該掩蓋板上的掩模板，所述掩模框架呈矩形，其中間設有矩形的容置口，通過調整掩蓋板的安裝位置調整所述容置口的大小，所述掩模板上均勻布滿數個開口。

所述掩蓋板由無磁性材料制成，所述掩模板由磁吸性材料制成。

所述掩蓋板由不銹鋼制成。

所述掩蓋板焊接固定安裝于所述掩模框架上。

所述掩模板為一整張網板或由數張網板拼接而成。

所述容置口的大小等于待蒸鍍的有機電致發光二極管的玻璃基板上的發光層的大小。

還包括設于待蒸鍍的有機電致發光二極管的玻璃基板上方的磁盤，該磁盤對應所述掩模框架設置，且該磁盤的大小大于或等于所述掩模框架的大小。

所述開口具有相同的結構與大小，其對應待蒸鍍的有機電致發光二極管的玻璃基板上的發光層像素單元的子像素點設置。

所述開口為縫隙型開口。

所述開口為插槽型開口。