[發明專利]有機電致發光二極管有機材料蒸鍍用掩模裝置

有效

• 申請號: 201210284911.2
• 申請日: 2012-08-10
• 公開（公告）號: CN102776473A
• 公開（公告）日: 2012-11-14
• 發明（設計）人: 吳泰必;吳元均
• 申請（專利權）人: 深圳市華星光電技術有限公司
• 主分類號: C23C14/04
• 分類號: C23C14/04;H01L51/56
• 代理公司: 深圳市德力知識產權代理事務所 44265
• 代理人: 林才桂

1.一種有機電致發光二極管有機材料蒸鍍用掩模裝置，其特征在于，包括：一掩模框架、安裝于該掩模框架相對兩邊框朝向蒸鍍面側的掩蓋板及貼合于該掩蓋板上的掩模板，所述掩模框架呈矩形，其中間設有矩形的容置口，通過調整掩蓋板的安裝位置調整所述容置口的大小，所述掩模板上均勻布滿數個開口。

2.如權利要求1所述的有機電致發光二極管有機材料蒸鍍用掩模裝置，其特征在于，所述掩蓋板由無磁性材料制成，所述掩模板由磁吸性材料制成。

3.如權利要求2所述的有機電致發光二極管有機材料蒸鍍用掩模裝置，其特征在于，所述掩蓋板由不銹鋼制成。

4.如權利要求1所述的有機電致發光二極管有機材料蒸鍍用掩模裝置，其特征在于，所述掩蓋板焊接固定安裝于所述掩模框架上。

5.如權利要求1所述的有機電致發光二極管有機材料蒸鍍用掩模裝置，其特征在于，所述掩模板為一整張網板或由數張網板拼接而成。

6.如權利要求1所述的有機電致發光二極管有機材料蒸鍍用掩模裝置，其特征在于，所述容置口的大小等于待蒸鍍的有機電致發光二極管的玻璃基板上的發光層的大小。

7.如權利要求2所述的有機電致發光二極管有機材料蒸鍍用掩模裝置，其特征在于，還包括設于待蒸鍍的有機電致發光二極管的玻璃基板上方的磁盤，該磁盤對應所述掩模框架設置，且該磁盤的大小大于或等于所述掩模框架的大小。

8.如權利要求1所述的有機電致發光二極管有機材料蒸鍍用掩模裝置，其特征在于，所述開口具有相同的結構與大小，其對應待蒸鍍的有機電致發光二極管的玻璃基板上的發光層像素單元的子像素點設置。

9.如權利要求8所述的有機電致發光二極管有機材料蒸鍍用掩模裝置，其特征在于，所述開口為縫隙型開口。

10.如權利要求8所述的有機電致發光二極管有機材料蒸鍍用掩模裝置，其特征在于，所述開口為插槽型開口。