[發(fā)明專利]旋轉(zhuǎn)式沉積設(shè)備

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201210279793.6
• 申請日: 2012-08-07
• 公開（公告）號(hào): CN103074578A
• 公開（公告）日: 2013-05-01
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 馬浩烈;李載昱
• 申請（專利權(quán)）人: 塔工程有限公司
• 主分類號(hào): C23C14/24
• 分類號(hào): C23C14/24
• 代理公司: 北京康信知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司 11240
• 代理人: 余剛;吳孟秋

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明總體涉及旋轉(zhuǎn)式沉積設(shè)備，更具體地，涉及一種被構(gòu)造成使得玻璃面板和/或沉積源的噴嘴單元旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)式沉積設(shè)備，從而改進(jìn)形成在玻璃面板上的薄膜的均勻度。

背景技術(shù)

通常，有機(jī)發(fā)光二極管（OLED）是作為下一代顯示裝置而引起廣泛關(guān)注的自發(fā)光裝置。OLED具有很多優(yōu)點(diǎn)，諸如，比相片（photograph）質(zhì)量更高的圖像質(zhì)量、寬視角、幾乎沒有死視角（dead?viewing?angle）、減小為LCD的1/3的厚度、低功耗以及大約是LCD的1/1000的快速響應(yīng)時(shí)間。因此，利用OLED來產(chǎn)生高質(zhì)量的視頻等。

在具有上述特征的OLED中，空穴從陽極傳輸至空穴傳輸層，而電子從陰極傳輸至電子傳輸層。空穴和電子在設(shè)置于空穴傳輸層與電子傳輸層之間的發(fā)光層中彼此重新結(jié)合，從而產(chǎn)生電子空穴對(duì)（激子）。得自于電子空穴對(duì)的能量產(chǎn)生特定波長的光。

典型地，有機(jī)薄膜層（諸如空穴傳輸層、發(fā)光層、電子傳輸層等）的形成包括：在高真空隔間（booth）中使坩堝（crucible）中所包含的有機(jī)材料蒸發(fā)，以及將蒸發(fā)的有機(jī)材料沉積到玻璃面板上。如圖1所示，在傳統(tǒng)技術(shù)中，將不同種類的有機(jī)材料供應(yīng)到設(shè)置在單個(gè)隔間10中的沉積源12a、12b和12c中。當(dāng)玻璃面板11移動(dòng)經(jīng)過隔間10時(shí)，加熱器或類似裝置加熱有機(jī)材料，使得有機(jī)材料沉積到玻璃面板11上。但是，在這種沉積方法中，由于蒸發(fā)的有機(jī)材料的自由移動(dòng)，不同種類的蒸發(fā)的有機(jī)材料在單個(gè)隔間11中隨機(jī)地沉積到玻璃面板11上，因此造成有機(jī)材料的交叉污染。為了解決這個(gè)問題，已經(jīng)嘗試了幾種方法，例如，增大沉積源之間的間距，或者在將另一種有機(jī)材料沉積到玻璃面板上之前除去殘留在隔間中的前一種有機(jī)材料。但是，不可能從隔間中完全移除殘留的前一種有機(jī)材料。而且，需要額外時(shí)間來重新調(diào)整沉積源之間的間距來適合不同種類的有機(jī)材料和從隔間去除前一種有機(jī)材料。尤其是，在近來使用大尺寸玻璃面板的情況下，形成在玻璃面板的沉積表面上的薄膜的均勻性進(jìn)一步降低。典型地，所沉積的有機(jī)材料膜的厚度必須在至的范圍內(nèi)，并且厚度的均勻性必須為5%或更小。

為了解決傳統(tǒng)技術(shù)中的上述問題，在題為“Deposition?Apparatus（沉積設(shè)備）”的韓國專利公開出版物第10-2004-0002362號(hào)（2004年1月7日）（專利文獻(xiàn)1）中提出了一種沉積設(shè)備。具體地，在專利文獻(xiàn)1的沉積設(shè)備中，用作用于保持掩模和玻璃面板3的單元的保持架4設(shè)置在隔間的頂表面下方，并且旋轉(zhuǎn)裝置5使玻璃面板3旋轉(zhuǎn)，從而沉積在玻璃面板3上的薄膜的均勻度能夠得以提高（參照專利文獻(xiàn)1的圖4及其第5頁所描述的實(shí)施方式）。

但是，專利文獻(xiàn)1的沉積設(shè)備被構(gòu)造成使得僅有玻璃面板旋轉(zhuǎn)。因此，能夠改進(jìn)薄膜均勻性的程度受到限制，并且針對(duì)有機(jī)材料的交叉污染問題沒有提出解決方案。

在題為“Rotary?deposition?source?for?thin?film?deposition?and?thin?film?deposition?apparatus?using?the?same（用于薄膜沉積的旋轉(zhuǎn)式沉積源和使用該沉積源的薄膜沉積設(shè)備）”的韓國專利公開出版物第10-2008-0007820號(hào)（2008年1月23日）（專利文獻(xiàn)2）中提出了與沉積技術(shù)相關(guān)的另一種設(shè)備。具體地，在專利文獻(xiàn)2中，軸500安裝在沉積源10的下表面下方，并且沉積源10能夠圍繞軸500旋轉(zhuǎn)，從而提高了沉積在玻璃面板20上的薄膜的均勻度（參照專利文獻(xiàn)2的圖2及其第4頁的第四和第五段）。

但是，在專利文獻(xiàn)2的沉積設(shè)備中，因?yàn)檎麄€(gè)沉積源10旋轉(zhuǎn)，所以操作效率降低。而且，離心力會(huì)降低玻璃面板的中心部分與其周緣之間的薄膜的均勻度。此外，專利文獻(xiàn)2的技術(shù)仍舊沒有提出針對(duì)有機(jī)材料的交叉污染問題的解決方案。

[現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)]

[專利文獻(xiàn)]

1.韓國專利公開出版物第10-2004-0002362號(hào)（2004年1月7日）

2.韓國專利公開出版物第10-2008-0007820號(hào)（2008年1月23日）

發(fā)明內(nèi)容

因此，考慮到現(xiàn)有技術(shù)中出現(xiàn)的上述問題，提出了本發(fā)明，并且本發(fā)明的目的在于提供一種旋轉(zhuǎn)式沉積設(shè)備，其被構(gòu)造成使得玻璃面板和/或沉積源的噴嘴單元旋轉(zhuǎn)，因此提高了形成在玻璃面板上的薄膜的均勻度。

本發(fā)明的另一目的是提供一種旋轉(zhuǎn)式沉積設(shè)備，在該旋轉(zhuǎn)式沉積設(shè)備中，多個(gè)隔間以直線型布置方式構(gòu)造，使得多個(gè)隔間順序地一個(gè)接一個(gè)地連接，并且形成薄膜的不同種類的有機(jī)材料能夠分別設(shè)置在各自的隔間中，因此防止了有機(jī)材料的交叉污染。