[發(fā)明專利]旋轉式沉積設備

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201210279793.6
• 申請日: 2012-08-07
• 公開（公告）號: CN103074578A
• 公開（公告）日: 2013-05-01
• 發(fā)明（設計）人: 馬浩烈;李載昱
• 申請（專利權）人: 塔工程有限公司
• 主分類號: C23C14/24
• 分類號: C23C14/24
• 代理公司: 北京康信知識產權代理有限責任公司 11240
• 代理人: 余剛;吳孟秋

1.一種旋轉式沉積設備，包括：

至少一個玻璃面板保持架，保持玻璃面板；

至少一個第一旋轉裝置，旋轉所述玻璃面板保持架；

至少一個沉積源，存儲沉積材料，所述沉積源將所述沉積材料排放到所述玻璃面板上；以及

至少一個隔間，所述隔間中包含所述玻璃面板保持架、所述第一旋轉裝置和所述沉積源。

2.根據權利要求1所述的旋轉式沉積設備，進一步包括：至少一個噴嘴單元，連接至所述沉積源，所述噴嘴單元包括多個噴嘴，使得所述沉積材料通過所述噴嘴排放到所述玻璃面板上；以及

至少一個第二旋轉裝置，使所述噴嘴單元旋轉，

其中，所述第二旋轉裝置使所述噴嘴單元沿與所述玻璃面板保持架的旋轉方向相反的方向旋轉。

3.根據權利要求1至2中任一項所述的旋轉式沉積設備，其中，所述隔間包括多個沉積源，每個沉積源存儲不同種類的沉積材料。

4.根據權利要求1至2中任一項所述的旋轉式沉積設備，其中，所述旋轉式沉積設備包括多個隔間，每個隔間均包含沉積源和玻璃面板保持架，并且各個隔間的各個沉積源存儲不同種類的沉積材料。

5.根據權利要求1至2中任一項所述的旋轉式沉積設備，其中，所述旋轉式沉積設備包括以直線型布置方式順序地一個接一個地連接的多個隔間。

6.根據權利要求5所述的旋轉式沉積設備，其中，每個所述隔間包含沉積源和玻璃面板保持架，并且各個隔間的各個沉積源存儲不同種類的沉積材料。

7.根據權利要求1至2中任一項所述的旋轉式沉積設備，其中，所述沉積源布置在所述隔間的底表面上，并且所述玻璃面板保持架布置在所述隔間的頂表面下方，

其中，所述玻璃面板布置在所述沉積源與所述玻璃面板保持架之間。

8.一種旋轉式沉積設備，包括：

至少一個玻璃面板保持架，保持玻璃面板；

至少一個沉積源，存儲沉積材料，所述沉積源將所述沉積材料排放到所述玻璃面板上；

至少一個噴嘴單元，連接至所述沉積源，所述噴嘴單元包括多個噴嘴，使得所述沉積材料通過所述噴嘴排放到所述玻璃面板上；

至少一個旋轉裝置，使所述噴嘴單元旋轉；以及

至少一個隔間，所述隔間中包含所述玻璃面板保持架、所述沉積源、所述噴嘴單元和所述旋轉裝置。

9.根據權利要求3所述的旋轉式沉積設備，其中，所述隔間包括多個沉積源，每個沉積源存儲不同種類的沉積材料。

10.根據權利要求3所述的旋轉式沉積設備，其中，所述旋轉式沉積設備包括多個隔間，每個隔間均包含沉積源和玻璃面板保持架，并且各個隔間的各個沉積源存儲不同種類的沉積材料。

11.根據權利要求3所述的旋轉式沉積設備，其中，所述旋轉式沉積設備包括以直線型布置方式順序地一個接一個地連接的多個隔間。

12.根據權利要求11所述的旋轉式沉積設備，其中，每個所述隔間包含沉積源和玻璃面板保持架，并且各個隔間的各個沉積源存儲不同種類的沉積材料。

13.根據權利要求3的旋轉式沉積設備，其中，所述沉積源布置在所述隔間的底表面上，并且所述玻璃面板保持架布置在所述隔間的頂表面下方，

其中，所述玻璃面板布置在所述沉積源與所述玻璃面板保持架之間。