[發明專利]一種從干法回收料中提純二氯二氫硅的方法

有效

• 申請號: 201210276462.7
• 申請日: 2012-08-03
• 公開（公告）號: CN102795629A
• 公開（公告）日: 2012-11-28
• 發明（設計）人: 姜利霞;嚴大洲;毋克力;肖榮暉;湯傳斌;楊永亮
• 申請（專利權）人: 中國恩菲工程技術有限公司;洛陽中硅高科技有限公司
• 主分類號: C01B33/107
• 分類號: C01B33/107
• 代理公司: 北京清亦華知識產權代理事務所(普通合伙) 11201
• 代理人: 宋合成;黃德海

1.一種從干法回收料中提純二氯二氫硅的方法，其特征在于，包括以下步驟：

a）將多晶硅生產工藝中的還原尾氣經過干法回收得到干法回收料，將干法回收料送入第一干法精餾塔中進行精餾，從所述第一干法精餾塔的塔頂采出第一低沸物，所述第一低沸物中含有二氯二氫硅和含硼雜質，并從所述第一干法精餾塔的塔底排出中間氯硅烷；

b）將所述第一低沸物通入分離塔進行分離，以從所述分離塔的塔頂采集含硼雜質且從塔底采集二氯二氫硅；

c)將所述中間氯硅烷送入第二干法精餾塔中進行精餾，從所述第二干法精餾塔的塔頂采集第二低沸物，所述第二低沸物中含有二氯二氫硅和三氯氫硅，從所述第二干法精餾塔的塔底排出四氯化硅。

2.根據權利要求1所述的從干法回收料中提純二氯二氫硅的方法，其特征在于，還包括：

d)將所述第二低沸物直接送入還原爐，以還原其中的三氯氫硅。

3.根據權利要求2所述的從干法回收料中提純二氯二氫硅的方法，其特征在于，還包括：

e）將所述四氯化硅送入氫化系統進行氫化。

4.根據權利要求1所述的從干法回收料中提純二氯二氫硅的方法，其特征在于，所述第一低沸物中二氯二氫硅的含量≥90%。

5.根據權利要求1所述的從干法回收料中提純二氯二氫硅的方法，其特征在于，所述第一干法精餾塔的處理量為15m³/h,在所述步驟a）中所述第一低沸物的采集速度為0.1～0.5m³/h，且在所述步驟b）中所述第一低沸物的進料速度為0.1～0.5m³/h。

6.根據權利要求1或5所述的從干法回收料中提純二氯二氫硅的方法，其特征在于，在所述步驟b）中，所述二氯二氫硅的采集速度為0.1～0.45m³/h。

7.根據權利要求1所述的從干法回收料中提純二氯二氫硅的方法，其特征在于，在所述步驟b）中，所述第二低沸物中含有質量百分比為2～10%的二氯二氫硅。

8.根據權利要求1所述的從干法回收料中提純二氯二氫硅的方法，其特征在于，在所述步驟c）中，所述第二低沸物的采集速度為5.5～7m³/h。