[發明專利]圖案形成裝置

有效

• 申請號: 201210268331.4
• 申請日: 2012-07-30
• 公開（公告）號: CN102962163A
• 公開（公告）日: 2013-03-13
• 發明（設計）人: 巖島正信;真田雅和;上野博之
• 申請（專利權）人: 大日本網屏制造株式會社
• 主分類號: B05C5/00
• 分類號: B05C5/00;B05C11/10;B05B1/00
• 代理公司: 隆天國際知識產權代理有限公司 72003
• 代理人: 宋曉寶;郭曉東

技術領域

本發明涉及一種在基板表面上涂敷包含用于形成圖案的材料的涂敷液來形成規定的圖案的圖案形成裝置。

背景技術

作為在基板上形成規定的圖案的技術，具有在基板上涂敷包含用于形成圖案的材料的涂敷液并使其固化的技術，至今為止已經提出了很多用于實現該技術的方案。例如專利文獻1（日本特開2007-222770號公報）公開了一種能夠適用于這種圖案形成技術的噴嘴的結構（例如圖2）。在該文獻所記載的技術中，通過將設置有形成涂敷液的流通路徑的凹部或槽的多個部件重合來構成噴嘴前端部，由此能夠分解噴嘴，并且通過從外部夾緊并保持這些部件來防止液體從縫隙泄漏。

但是，近年來，越來越追求圖案的高高寬比化及圖案形成的高速化。即，追求用更短的時間形成圖案高度對于寬度的比（高寬比（aspect?ratio））高的圖案。為此，需要能夠向高粘度的涂敷液施加比至今為止更高的壓力（例如1MPa以上）來擠壓出該高粘度的涂覆液的技術。在上述現有技術的噴嘴構造中，有時不能夠充分滿足這種要求。具體來說，高的內部壓力會導致噴嘴部件略微變形，毛細管現象會導致液體從部件的縫隙間滲出，由此會產生壓力損失。因此，有時不能夠對從噴出口噴出的涂敷液的剖面形狀或噴出量等適當地進行噴出控制。

發明內容

本發明是鑒于上述問題而提出的，其目的在于提供一種圖案形成裝置，在基板上涂敷涂敷液來形成規定的圖案的圖案形成技術中，該圖案形成裝置能夠利用高的壓力擠壓出涂敷液，并適當地進行噴出控制。

本發明的圖案形成裝置，為了達成上述目的，其特征在于，具有：基板保持裝置，其用于將基板保持為水平姿勢，噴出頭部，其與所述基板保持裝置所保持的所述基板的表面相向配置，且用于噴出包含用于形成圖案的材料的涂敷液，移動裝置，其通過使所述基板保持裝置所保持的所述基板與所述噴出頭部進行相對移動，來使所述噴出頭部沿著所述基板的表面在規定的掃描移動方向上進行掃描移動；在所述噴出頭部上設置有內部積存所述涂敷液的積液部、噴出所述涂敷液的噴出口、從所述積液部向所述噴出口供給所述涂敷液的涂敷液供給路徑，在所述噴出頭部的下部設置有噴出口配設面和與所述基板表面大致平行的基板相向面，其中，噴出口配設面在所述掃描移動方向上的所述基板相向面的后方側端部與所述基板相向面相連接，而且離該后方側端部越遠則離所述基板表面越遠；所述噴出口設置在所述噴出口配設面上的與所述基板相向面的后方側端部相鄰的位置上，所述涂敷液供給路徑的側壁面及所述噴出口一體形成為一個構件。

在這樣構成的發明中，從積液部到噴出口的涂敷液供給路徑及噴出口一體形成為一個構件。由此，不會產生在多個部件的接縫上滲出涂敷液的問題。因此，能夠通過對涂敷液施加從積液部向噴出口的高的壓力來壓送涂敷液，另外能夠抑制由壓力損失而引起的噴出不穩定的問題。

另外，在噴出頭部的下部的噴出口配設面上設置的噴出口形成在與基板相向面的后方側端部相鄰的位置上，該基板相向面與噴出口配設面相連接。因此，在噴出頭部與基板表面相向配置的狀態下，從噴出口的下端到基板表面的距離與從基板相向面到基板表面的距離大致相同。另外，通過使基板相向面接近基板表面，能夠使噴出口的下端非常接近基板表面。因此，從噴出口噴出的涂敷液不經過殘留在噴出口周邊或者朝向基板落下的過程而立即與基板表面接觸，并通過與基板表面的附著力能夠停留在與基板表面接觸的位置。因此，涂敷液能夠流暢地從噴出頭部內部向基板表面轉移，且易于控制噴出的涂敷液的剖面形狀。

根據上述結構及其作用效果，在本發明中，能夠用高的壓力擠壓出涂敷液，并且一邊適當地進行噴出控制一邊涂敷涂敷液。因此，能夠高速形成剖面形狀和尺寸被適當地控制后的圖案。

在本發明中，例如，涂敷液供給路徑的側壁面、基板相向面及噴出口配設面可以一體形成。這樣，由于成為一體的上述各部分為包圍涂敷液供給路徑及噴出口的結構，所以能夠形成為耐高壓的構造。

進而，例如，還可以使噴出頭部的內部形成為筒狀的中空部，該中空部構成積液部，該中空部的壁面與涂敷液供給路徑的側壁面、基板相向面及噴出口配設面一體形成。這樣，成為還包括構成積液部的中空部的壁面的一體結構。因此，由于涂敷液從積液部流到基板表面的過程中部件上沒有接縫，進而能夠更可靠地達到上述效果。

在此，例如，還可以使噴出口與基板相向面之間的距離設為0，即，可以將噴出口的邊緣部的一部分與基板相向面的后方側端部一致。由此，能夠使從噴出口噴出的涂敷液到達基板表面的時間幾乎為0。因此，能夠在基板表面上涂敷保留剛從噴出口噴出的剖面形狀的涂敷液。