[發明專利]圖案形成裝置

有效

• 申請號: 201210268331.4
• 申請日: 2012-07-30
• 公開（公告）號: CN102962163A
• 公開（公告）日: 2013-03-13
• 發明（設計）人: 巖島正信;真田雅和;上野博之
• 申請（專利權）人: 大日本網屏制造株式會社
• 主分類號: B05C5/00
• 分類號: B05C5/00;B05C11/10;B05B1/00
• 代理公司: 隆天國際知識產權代理有限公司 72003
• 代理人: 宋曉寶;郭曉東

1.一種圖案形成裝置，其特征在于，

具有：

基板保持裝置，其用于將基板保持為水平姿勢，

噴出頭部，其與所述基板保持裝置所保持的所述基板的表面相向配置，用于噴出包含用于形成圖案的材料的涂敷液，

移動裝置，其通過使所述基板保持裝置所保持的所述基板與所述噴出頭部進行相對移動，來使所述噴出頭部沿著所述基板的表面在規定的掃描移動方向上進行掃描移動；

在所述噴出頭部上設置有內部積存所述涂敷液的積液部、用于噴出所述涂敷液的噴出口、從所述積液部向所述噴出口供給所述涂敷液的涂敷液供給路徑，

在所述噴出頭部的下部設置有噴出口配設面和與所述基板表面大致平行的基板相向面，其中，所述噴出口配設面在所述掃描移動方向上的所述基板相向面的后方側端部與所述基板相向面相連接，而且離該后方側端部越遠則離所述基板表面越遠；

所述噴出口設置在所述噴出口配設面上的與所述基板相向面的后方側端部相鄰的位置上，所述涂敷液供給路徑的側壁面及所述噴出口一體形成為一個構件。

2.如權利要求1所述的圖案形成裝置，其特征在于，所述涂敷液供給路徑的側壁面、所述基板相向面及所述噴出口配設面一體形成。

3.如權利要求1或2所述的圖案形成裝置，其特征在于，所述噴出頭部的內部形成為筒狀的中空部，該中空部構成所述積液部，所述中空部的壁面與所述涂敷液供給路徑的側壁面、所述基板相向面及所述噴出口配設面一體形成。

4.如權利要求1所述的圖案形成裝置，其特征在于，所述噴出口與所述基板相向面之間的距離為0。

5.如權利要求1所述的圖案形成裝置，其特征在于，沿著與所述掃描移動方向垂直的寬度方向排列有多個所述噴出口配設面，在各個所述噴出口配設面上分別設置有所述噴出口。

6.如權利要求1所述的圖案形成裝置，其特征在于，在所述噴出口配設面上，沿著與所述掃描移動方向垂直的寬度方向排列有多個所述噴出口。

7.如權利要求5或6所述的圖案形成裝置，其特征在于，沿著所述寬度方向等間隔地配置有多個所述噴出口，所述基板相向面上的在所述寬度方向上位于最外側的所述噴出口的外側的區域的寬度比相互相鄰的所述噴出口之間的間隔小。

8.如權利要求1所述的圖案形成裝置，其特征在于，所述噴出口配設面與所述基板表面之間的夾角在30度以上且60度以下。