[發明專利]一種硅片切割產生廢砂漿在線回收方法

有效

• 申請號: 201210266679.X
• 申請日: 2012-07-30
• 公開（公告）號: CN102757856A
• 公開（公告）日: 2012-10-31
• 發明（設計）人: 任耀琪;楊宏偉
• 申請（專利權）人: 江蘇陽帆機電設備制造有限公司
• 主分類號: C10M175/00
• 分類號: C10M175/00
• 代理公司: 無錫市大為專利商標事務所 32104
• 代理人: 涂三民

1.一種硅片切割產生廢砂漿在線回收方法，其特征是：該方法包括如下步驟：

a、在廢砂漿里添加切割液后攪拌均勻，形成第一混合砂漿，將第一混合砂漿的比重調配到1.33~1.6克/毫升，第一混合砂漿的比重調配好后加熱到20~80℃，第一混合砂漿加熱后輸入到沉降離心機進行離心沉降處理，沉降離心機的轉速控制在500~4800轉/分鐘，離心沉降后得到第一濾餅和第一懸浮液，該步驟所添加的切割液與廢砂漿里所含切割液的成分相同；

b、將步驟a得到的第一濾餅里添加切割液后攪拌均勻，形成第二混合砂漿，將第二混合砂漿的比重調配到1.33~1.7克/毫升，第二混合砂漿的比重調配好后加熱到20~80℃，第一濾餅加熱后輸入到沉降離心機進行離心沉降處理，沉降離心機的轉速控制在500~4800轉/分鐘，離心沉降后得到第二濾餅和第二懸浮液，該步驟所添加的切割液與廢砂漿里所含切割液的成分相同；

c、將步驟b得到的第二濾餅里添加切割液后攪拌均勻，形成第三混合砂漿，將第三混合砂漿的比重調配到1.33~1.7克/毫升，三混合砂漿的比重調配好后加熱到20~80℃，第二濾餅加熱后輸入到沉降離心機進行離心沉降處理，沉降離心機的轉速控制在500~4800轉/分鐘，離心沉降后得到第三濾餅和第三懸浮液，該步驟所添加的切割液與廢砂漿里所含切割液的成分相同；

d、將第一懸浮液、第二懸浮液和第三懸浮液混合在一起，得到混合懸浮液，在混合懸浮液內添加過濾助劑并攪拌均勻，攪拌均勻后將添加了過濾助劑的混合懸浮液加熱至20~80℃；所述過濾助劑的重量為混合懸浮液重量的0.3%~1%，且過濾助劑為活性炭和硅藻土的混合物，活性炭和硅藻土的重量比為（0.5~3）:（0.5~3）；

e、將步驟e加熱后的混合懸浮液輸入到管式膜進行過濾，濾膜孔徑為0.05~2微米；

f、將經過步驟e管式膜進行過濾后的懸浮液輸入真空蒸餾裝置進行蒸餾脫水，真空蒸餾溫度控制在70~150℃，得到回用液；

g、取步驟f得到的回用液和步驟c得到的第三濾餅混合攪拌均勻，得到回用砂漿，回用砂漿扣除步驟a、步驟b和步驟c所添加的切割液，計算得到能繼續使用的合格砂漿。