[發明專利]一種金屬氧化物有機發光二極管顯示裝置及其制造方法有效
| 申請號: | 201210264634.9 | 申請日: | 2012-07-27 |
| 公開(公告)號: | CN102760755A | 公開(公告)日: | 2012-10-31 |
| 發明(設計)人: | 焦峰 | 申請(專利權)人: | 南京中電熊貓液晶顯示科技有限公司 |
| 主分類號: | H01L29/24 | 分類號: | H01L29/24;H01L29/78;H01L51/52;H01L51/50;H01L27/32;H01L51/56 |
| 代理公司: | 暫無信息 | 代理人: | 暫無信息 |
| 地址: | 210033 江蘇省南京市仙林大道科*** | 國省代碼: | 江蘇;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 金屬 氧化物 有機 發光二極管 顯示裝置 及其 制造 方法 | ||
1.一種金屬氧化物有機發光二極管顯示裝置,其特征在于包括:
掃描線;
數據線,與掃描線交叉;
電流供應線,與所述數據線平行;
由掃描線、數據線和電流供應線交叉限定的若干的像素單元,每個像素單元包括共通電極、位于共通電極之上的發光層、第一TFT和第二TFT,其中,第一TFT包括:第一TFT半導體層、第一TFT柵極、第一TFT源極和第一TFT漏極,第二TFT包括:第二TFT半導體層、第二TFT柵極、第二TFT源極和第二TFT漏極,所述第二TFT漏極與發光層連接。
2.根據權利要求1所述一種金屬氧化物有機發光二極管顯示裝置,其特征在于:第一TFT半導體層、第一TFT源極、與第一TFT漏極、均由金屬氧化物IGZO制成的一體結構,且第一TFT源極與第一TFT漏極是具有導體特性的透明電極。
3.根據權利要求1所述一種金屬氧化物有機發光二極管顯示裝置,其特征在于:第二TFT半導體層、第二TFT源極、與第二TFT漏極、均由金屬氧化物IGZO制成的一體結構,且第二TFT源極與第二TFT漏極是具有導體特性的透明電極。
4.根據權利要求1所述一種金屬氧化物有機發光二極管顯示裝置,其特征在于還包括:與第二柵極連接的第二TFT的柵極連接線,且第一TFT柵極與掃描線連接,第一TFT源極與數據線連接,第二源極與電流供應線連接。
5.根據權利要求1所述一種金屬氧化物有機發光二極管顯示裝置,其特征在于:在第一、第二TFT半導體層上方均設有保護層。
6.一種制造金屬氧化物有機發光二極管的顯示裝置方法,其特征在于:包括如下步驟:
A、形成掃描線、數據線、電流供應線、第二TFT柵極連接線、以及共通電極、與掃描線連接的第一TFT柵極、以及與第二TFT柵極連接線連接的第二TFT柵極的圖案;
B、在形成上述圖案的基礎上形成一絕緣層,然后在掃描線、數據線、第二TFT柵極連接線、共通電極、電流供應線相應位置開設接觸孔;
C:在所述共通電極上的形成有機發光層;
D:在上述圖形的基礎上覆蓋一層金屬氧化物IGZO透明電極層;
E:分別在第一、第二柵極上方的IGZO層區域上形成第一、第二保護層;
F:在形成上述圖案的基礎上,通過化學方法在IGZO透明電極層上注入化學物質。
7.根據權利要求6所述的方法,其特征在于:所述步驟(B)形成的接觸孔有:在掃描線開設的端子孔、在信號線上開設的第一TFT信號線接觸孔、在第二TFT柵極連接線上開設的第二TFT柵極連接線極接觸孔、在共通電極上開設的共通電極接觸孔、在電流供應線上開設的第二TFT源極接觸孔。
8.根據權利要求6所述一種制造金屬氧化物有機發光二極管的顯示裝置方法,其特征在于:所述步驟(F)中位于第一保護層一側且靠近數據線側的IGZO層成為第一TFT源極,位于第一保護層另一側的IGZO層成為第一TFT漏極;位于第二保護層一側且靠近電流供應線側的IGZO層成為第二TFT源極,位于第二保護層另一側的IGZO層成為第二TFT漏極,且第二TFT漏極位于有機發光層上。
9.根據權利要求6所述一種制造金屬氧化物有機發光二極管的顯示裝置方法,其特征在于:所述信號線、電流源與共通電極的厚度為3500-4500埃。
10.根據權利要求6所述一種制造金屬氧化物有機發光二極管的顯示裝置方法,其特征在于:所述步驟(F)中化學物體為陽離子。
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