[發明專利]硅微陀螺芯片探針卡

有效

• 申請號: 201210263955.7
• 申請日: 2012-07-27
• 公開（公告）號: CN103575294A
• 公開（公告）日: 2014-02-12
• 發明（設計）人: 肖鵬;王剛;王小斌
• 申請（專利權）人: 中國航空工業第六一八研究所
• 主分類號: G01C25/00
• 分類號: G01C25/00
• 代理公司: 中國航空專利中心 11008
• 代理人: 杜永保

技術領域

本發明屬于航空慣性導航技術領域，涉及一種硅微陀螺芯片探針卡。

背景技術

根據硅微陀螺課題的發展需求，其芯片級檢測和篩選一方面可為結構設計和工藝制作的改進和優化提供原始數據，另一方面也能為電路聯試提供合格的表頭芯片。而硅微陀螺芯片上多個微小電極的連接及其微弱信號的采集是芯片級測試的基本要求，再考慮到批生產所需的工作量和一致性，對芯片級硅微陀螺的測試和篩選提出了更高的要求。目前我們采用探針臺來實現芯片電極的連接，但是其有限的探針數目無法滿足硅微陀螺芯片上十多個電極的信號采集和屏蔽連接，從而影響了微弱信號的測試精度；而且各電極與探針的準確接觸需要在顯微鏡下完成，這使得批量檢測的效率極為低下。

發明內容

本發明所要解決的技術問題是：提出一種能滿足硅微陀螺芯片多電極可靠連接，并能實現高效率精密對準的芯片級測試探針卡。

本發明的技術方案為：一種硅微陀螺芯片探針卡，包括底座、上蓋、彈性夾持機構和若干探針；所述彈性夾持機構為帶有芯片定位和彈性夾持功能的裝卡機構，并固定于底座的中間部位；所述上蓋的中間為孔，孔的位置與大小與彈性夾持機構的位置與大小相配合；所述探針為可以在高度、弧向、徑向三個自由度調節的接觸式探針；探針安裝在上蓋上，以輻射狀排列，探針針頭集中于所測試芯片電極位置附近；底座和上蓋通過鉸鏈連接；底座上有若干限位柱，上蓋有若干與限位柱相配合的限位孔。

本發明具有的優點和有益效果：使用本發明，在對被測芯片完成初次探針位置調節后，其結構使探針定位保持精確，此后無需借助顯微鏡就可實現同類芯片的多次和重復測試，不僅滿足微弱信號對精度和穩定性的要求，而且配合測試系統使用可極大的提高批生產檢測的效率。

附圖說明

圖1是本發明硅微陀螺芯片探針卡一種具體實施方式的結構示意圖；

圖2是本發明微陀螺芯片探針卡一種具體實施方式中的底座結構示意圖；

圖3是本發明微陀螺芯片探針卡一種具體實施方式中的彈性夾持機構示意圖；

圖4是本發明微陀螺芯片探針卡一種具體實施方式中的探針示意圖；

其中，1-底座、2-彈性夾持機構、3-限位柱、4-上蓋、5-夾線環、6-探針、7-限位孔、8-鉸鏈、9-支撐柱、10-彈性夾持桿、11-芯片定位片、12-鑷子夾持孔、13-鎢探針、14-絕緣片、15-徑向調節桿、16-高度調節孔、17-徑向調節孔、18-弧向調節桿、19-弧向調節孔。

具體實施方式

下面結合說明書附圖對本發明的具體實施方式做進一步說明。

參見圖1、圖2、圖3。本發明硅微陀螺芯片探針卡，包括底座1、上蓋4、彈性夾持機構2和若干探針6；所述彈性夾持機構2為帶有芯片定位和彈性夾持功能的裝卡機構，并固定于底座1的中間部位；所述上蓋4的中間為孔，孔的位置與大小與彈性夾持機構的位置與大小相配合；所述探針6為可以在高度、弧向、徑向三個自由度調節的接觸式探針；探針6安裝在上蓋4上，以輻射狀排列，探針針頭集中于所測試芯片電極位置附近；底座1和上蓋4通過鉸鏈8連接；底座1上有若干限位柱3，上蓋4有若干與限位柱3相配合的限位孔7。

參見圖3，上述彈性夾持機構2包括兩片互成直角的芯片定位片11、彈性夾持桿10，其中一片芯片定位片帶有可以放置芯片的鑷子夾持孔12。

參見圖4，上述探針6包括鎢探針13、絕緣片14、徑向調節桿15、弧向調節桿18；弧向調節桿18中段有一向上凸起部位，底端帶有弧向調節孔19并通過螺釘固定于探針卡上蓋4；鎢探針13固定于絕緣片14的一面；絕緣片14另一面固定于徑向調節桿15的前端；徑向調節桿15前后分別開有高度調節孔16和徑向調節孔17，都為滑道形長形孔；徑向調節桿15通過螺釘穿過徑向調節孔17、弧向調節桿18凸起部位的螺紋孔與弧向調節桿18固定；高度調節孔16上裝有螺釘，螺釘頂端與弧形調節桿18的前端非凸起面接觸。

上述上蓋4上有用于固定與探針6連接的屏蔽線的夾線環5，并有若干在裝卡芯片時用于支撐上蓋4的支撐柱9。