[發明專利]硅微陀螺芯片探針卡

有效

• 申請號: 201210263955.7
• 申請日: 2012-07-27
• 公開（公告）號: CN103575294A
• 公開（公告）日: 2014-02-12
• 發明（設計）人: 肖鵬;王剛;王小斌
• 申請（專利權）人: 中國航空工業第六一八研究所
• 主分類號: G01C25/00
• 分類號: G01C25/00
• 代理公司: 中國航空專利中心 11008
• 代理人: 杜永保

1.硅微陀螺芯片探針卡，其特征為：所述探針卡包括底座（1）、上蓋（4）、彈性夾持機構（2）和若干探針（6）；所述彈性夾持機構（2）為帶有芯片定位和彈性夾持功能的裝卡機構，并固定于底座（1）的中間部位；所述上蓋（4）的中間為孔，孔的位置與大小與彈性夾持機構的位置與大小相配合；所述探針（6）為可以在高度、弧向、徑向三個自由度調節的接觸式探針；探針（6）安裝在上蓋（4）上，以輻射狀排列，探針針頭集中于所測試芯片電極位置附近；底座（1）和上蓋（4）通過鉸鏈（8）連接；底座（1）上有若干限位柱（3），上蓋（4）有若干與限位柱（3）相配合的限位孔（7）。

2.根據權利要求1所述的探針卡，其特征為：所述彈性夾持機構（2）包括兩片互成直角的芯片定位片（11）、彈性夾持桿（10），其中一片芯片定位片帶有可以放置芯片的鑷子夾持孔（12）。

3.根據權利要求1所述的探針卡，其特征為：所述探針（6）包括鎢探針（13）、絕緣片（14）、徑向調節桿（15）、弧向調節桿（18）；弧向調節桿（18）中段有一向上凸起部位，底端帶有弧向調節孔（19）并通過螺釘固定于探針卡上蓋（4）；鎢探針（13）固定于絕緣片（14）的一面；絕緣片（14）另一面固定于徑向調節桿（15）的前端；徑向調節桿（15）前后分別開有高度調節孔（16）和徑向調節孔（17），都為滑道形長形孔；徑向調節桿（15）通過螺釘穿過徑向調節孔（17）、弧向調節桿（18）凸起部位的螺紋孔與弧向調節桿（18）固定；高度調節孔（16）上裝有螺釘，螺釘頂端與弧形調節桿（18）的前端非凸起面接觸。

4.根據權利要求3所述的探針卡，其特征為：所述上蓋（4）上有用于固定與探針（6）連接的屏蔽線的夾線環（5）。

5.根據權利要求1到4的任一項所述的探針卡，其特征為：所述上蓋（4）上有若干在裝卡芯片時用于支撐上蓋（4）的支撐柱（9）。