[發明專利]氣體流量檢定系統及氣體流量檢定單元

有效

• 申請號: 201210262118.2
• 申請日: 2012-07-26
• 公開（公告）號: CN102954819A
• 公開（公告）日: 2013-03-06
• 發明（設計）人: 中田明子
• 申請（專利權）人: 喜開理株式會社
• 主分類號: G01F1/88
• 分類號: G01F1/88;G05D7/06;G05D16/06
• 代理公司: 中原信達知識產權代理有限責任公司 11219
• 代理人: 高培培;車文

1.一種氣體流量檢定系統，其特征在于，

具有：多條工藝氣體管線，其將來自工藝氣體供給源的氣體經由第一管線截止閥、第二管線截止閥和流量控制儀器向工藝腔室供給；及共用氣體管線，其與所述工藝氣體管線分支連接以將來自共用氣體供給源的氣體經由所述第二管線截止閥和所述流量控制儀器排出，

所述共用氣體管線具備共用截止閥、測定用罐、第一壓力傳感器和壓力調整閥，

關閉所述第一管線截止閥及所述共用截止閥時，利用所述第一壓力傳感器測定所述測定用罐內的氣體的壓力降低，從而進行所述流量控制儀器的流量檢定，

所述壓力調整閥對該壓力調整閥的二次側壓力進行反饋控制。

2.一種氣體流量檢定系統，其特征在于，

具有：多條工藝氣體管線，其將來自工藝氣體供給源的氣體經由第一管線截止閥、第二管線截止閥和流量控制儀器向工藝腔室供給；及共用氣體管線，其與所述工藝氣體管線分支連接以將來自共用氣體供給源的氣體經由所述第二管線截止閥和所述流量控制儀器排出，

在所述各工藝氣體管線的第一管線截止閥和第二管線截止閥之間，具備測定用罐、第一壓力傳感器和壓力調整閥，且在所述共用氣體管線上具備共用截止閥，

關閉所述第一管線截止閥及所述共用截止閥時，利用所述第一壓力傳感器測定所述測定用罐內的氣體的壓力降低，從而進行所述流量控制儀器的流量檢定，

所述壓力調整閥對該壓力調整閥的二次側壓力進行反饋控制。

3.如權利要求1或2所述的氣體流量檢定系統，其特征在于，

在所述壓力調整閥內或其下游側具備計測所述壓力調整閥的二次側壓力的第二壓力傳感器，

所述壓力調整閥具備控制部，該控制部基于來自所述第一壓力傳感器的第一壓力信號和來自所述第二壓力傳感器的第二壓力信號的壓力信號差進行壓力控制。

4.如權利要求1或2所述的氣體流量檢定系統，其特征在于，

所述測定用罐設置于將所述第一壓力傳感器和所述壓力調整閥載置于上端的歧管內，

在所述歧管內形成為，將所述第一壓力傳感器和所述壓力調整閥分別與罐連接的各流路分別與所述測定用罐的內壁連通。

5.如權利要求1或2所述的氣體流量檢定系統，其特征在于，

在所述壓力調整閥內或其下游側具備計測所述壓力調整閥的二次側壓力的第二壓力傳感器，

所述壓力調整閥具有控制部，該控制部基于來自所述第一壓力傳感器的第一壓力信號和來自所述第二壓力傳感器的第二壓力信號的壓力信號差進行壓力控制，

所述測定用罐設置于將所述第一壓力傳感器和所述壓力調整閥載置于上端的歧管內，

在所述歧管內形成為，將所述第一壓力傳感器和所述壓力調整閥分別與罐連接的各流路分別與所述測定用罐的內壁連通。

6.如權利要求1或2所述的氣體流量檢定系統，其特征在于，

在所述壓力調整閥內或其下游側具備計測所述壓力調整閥的二次側壓力的第二壓力傳感器，

所述壓力調整閥具有控制部，該控制部基于來自所述第一壓力傳感器的第一壓力信號和來自所述第二壓力傳感器的第二壓力信號的壓力信號差進行壓力控制，

所述測定用罐設置于將所述第一壓力傳感器和所述壓力調整閥載置于上端的歧管內，

在所述歧管內形成為，將所述第一壓力傳感器和所述壓力調整閥分別與罐連接的各流路分別與所述測定用罐的內壁連通，

在所述歧管的下端設置密封所述測定用罐下端的蓋部件。

7.一種氣體流量檢定單元，其特征在于，

具有共用氣體管線，該共用氣體管線與將來自工藝氣體供給源的氣體經由第一管線截止閥、第二管線截止閥和流量控制儀器向工藝腔室供給的多條工藝氣體管線分支連接，以將來自共用氣體供給源的氣體經由所述第二管線截止閥和所述流量控制儀器排出，

在所述共用氣體管線上具備共用截止閥、測定用罐、第一壓力傳感器和壓力調整閥，

關閉所述第一管線截止閥及所述共用截止閥時，利用所述第一壓力傳感器測定所述測定用罐內的氣體的壓力降低，從而進行所述流量控制儀器的流量檢定，

所述壓力調整閥具備控制單元，該控制單元對該壓力調整閥的二次側壓力進行反饋控制。