[發明專利]真空產生裝置及其方法

無效

• 申請號: 201210254733.9
• 申請日: 2012-07-20
• 公開（公告）號: CN103573580A
• 公開（公告）日: 2014-02-12
• 發明（設計）人: 李國正
• 申請（專利權）人: 友達光電股份有限公司
• 主分類號: F04B37/14
• 分類號: F04B37/14
• 代理公司: 北京維澳專利代理有限公司 11252
• 代理人: 馬佑平;王立民

技術領域

本發明是有關于一種真空產生裝置及其方法，且特別是有關于一種具有節能效果的真空產生裝置及其方法。

背景技術

半導體或面板產業在特定階段的制程中，需要高真空環境，而為了形成此一高真空環境，則需利用真空產生裝置來抽吸氣體。請參照圖1，圖1所繪示為現有真空產生裝置的示意圖。真空產生裝置100具有第一真空產生部110、閥體120、排氣口130與工作腔體140。第一真空產生部110包括有互相連通的機械升壓幫浦（mechanical?booster?pump，MBP）111與干式真空幫浦（dry?pump，DP）112，機械升壓幫浦111的一端透過第一通道101連接至工作腔體140。閥體120包括進氣腔121、排氣腔122與止回閥（check?valve）123。進氣腔121與干式真空幫浦112之間透過第二通道102互相連接，止回閥123夾于進氣腔121與排氣腔122之間。排氣腔122透過第三通道103連接至排氣口130。

在特定階段的制程中，工作腔體140內的工作空間需要維持真空狀態，因此機械升壓幫浦111與干式真空幫浦112會持續運作以將氣體由工作腔體140通過第一通道101抽吸出來，再通過第二通道102傳送至進氣腔121，當進氣腔121內部的氣壓維持在一預定值以上時，止回閥123會開啟，使氣體由進氣腔121傳送至排氣腔122，并通過第三通道103由排氣口130排出。隨著工作腔體140內的氣體被不斷抽出，進氣腔121內的氣壓會相對的不斷降低，直到低于所述預定值時，止回閥123將會關閉，然而此時工作腔體140內系處于低真空狀態，為了達到所需的高真空狀態，機械升壓幫浦111與干式真空幫浦112需要加大功率提高進氣腔121內的氣壓，迫使止回閥123開啟以繼續排除工作腔體140內的氣體。

另一種狀況為，當工作腔體140內的作業用機體（圖中未繪示）處于待機狀態時，需排出的氣體量將會減少，如此一來，進氣腔121內的氣壓亦會相對降低而導致止回閥123關閉。為維持工作腔體140內的高真空狀態，機械升壓幫浦111與干式真空幫浦112亦需要加大功率。

發明內容

有鑒于此，本發明的目的在提出一種真空產生裝置及其方法，其系藉由第二真空產生部的輔助，使工作腔體達成或維持高真空狀態之外，還能降低整體功耗。

為達到上述目的，本發明提出一種真空產生裝置，包括工作腔體、第一真空產生部、閥體與第二真空產生部；第一真空產生部具有第一端與第二端，第一端連接至工作腔體；閥體具有進氣腔、排氣腔與止回閥，進氣腔連接第二端，止回閥配置于進氣腔與排氣腔之間，排氣腔連接至排氣口；第二真空產生部具有真空產生單元與壓縮空氣單元，真空產生單元具有進氣管、排氣管與旁通管，進氣管連接壓縮空氣單元，排氣管連接排氣腔，旁通管連接進氣腔。

在本發明一實施例中，所述第一真空產生部包括有機械升壓幫浦與干式真空幫浦。

在本發明一實施例中，所述進氣管與排氣管于真空產生單元內互相連接形成直向管，旁通管異于進氣腔的一端連接直向管的側面。

為達到上述目的，本發明還提出另一種真空產生裝置，包括工作腔體、第一真空產生部、閥體與第二真空產生部；第一真空產生部具有第一端與第二端，第一端連接至工作腔體；閥體具有進氣腔、排氣腔與止回閥，進氣腔連接第二端，止回閥配置于進氣腔與排氣腔之間，排氣腔連接至第一排氣口；第二真空產生部具有旁通管與排氣管，旁通管連接進氣腔，排氣管連接至第二排氣口，其中第二真空產生部系采用制程真空系統。

在本發明一實施例中，所述第一真空產生部包括有機械升壓幫浦與干式真空幫浦。

為達到上述目的，本發明還提出一種真空產生方法，包括下列步驟：提供真空產生裝置；連接真空產生裝置至工作腔體；運作真空產生裝置所具有的第一真空產生部，抽吸工作腔體內的氣體，使所述氣體進入真空產生裝置所具有的閥體，依序通過閥體的進氣腔、止回閥與排氣腔后排出；當進氣腔的氣壓低于預定值，運作真空產生裝置所具有的第二真空產生部，所述第二真空產生部透過旁通管抽吸進氣腔內的氣體。

在本發明一實施例中，所述運作真空產生裝置所具有的第二真空產生部，進一步包括，運作第二真空產生部所具有的壓縮空氣單元，使壓縮空氣單元噴射高速氣流以透過旁通管抽吸進氣腔內的氣體。

本發明所提出的一種真空產生裝置及其方法，其系藉由第二真空產生部的輔助，以相較于現有技術更佳的效率使得工作腔體達到高真空狀態，因此可減少第一真空產生部的功耗，達到節能省電的功效。