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[發明專利]真空產生裝置及其方法無效

專利信息
申請號: 201210254733.9 申請日: 2012-07-20
公開(公告)號: CN103573580A 公開(公告)日: 2014-02-12
發明(設計)人: 李國正 申請(專利權)人: 友達光電股份有限公司
主分類號: F04B37/14 分類號: F04B37/14
代理公司: 北京維澳專利代理有限公司 11252 代理人: 馬佑平;王立民
地址: 中國臺灣新竹科*** 國省代碼: 中國臺灣;71
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 真空 產生 裝置 及其 方法
【權利要求書】:

1.一種真空產生裝置,包括:

一工作腔體;

一第一真空產生部,具有一第一端與一第二端,該第一端連接至該工作腔體;

一閥體,具有一進氣腔、一排氣腔與一止回閥,該進氣腔連接該第二端,該止回閥配置于該進氣腔與該排氣腔之間,該排氣腔連接至一排氣口;以及

一第二真空產生部,具有一真空產生單元與一壓縮空氣單元,該真空產生單元具有一進氣管、一排氣管與一旁通管,該進氣管連接該壓縮空氣單元,該排氣管連接該排氣腔,該旁通管連接該進氣腔。

2.如權利要求1所述的真空產生裝置,其中該第一真空產生部包括有一機械升壓幫浦與一干式真空幫浦。

3.如權利要求1所述的真空產生裝置,其中該進氣管與該排氣管于該真空產生單元內互相連接形成一直向管,該旁通管異于該進氣腔的一端連接該直向管的側面。

4.一種真空產生裝置,包括:

一工作腔體;

一第一真空產生部,具有一第一端與一第二端,該第一端連接至該工作腔體;

一閥體,具有一進氣腔、一排氣腔與一止回閥,該進氣腔連接該第二端,該止回閥配置于該進氣腔與該排氣腔之間,該排氣腔連接至一第一排氣口;以及

一第二真空產生部,具有一旁通管與一排氣管,該旁通管連接該進氣腔,該排氣管連接至一第二排氣口,其中該第二真空產生部系采用一制程真空系統。

5.如權利要求4所述的真空產生裝置,其中該第一真空產生部包括有一機械升壓幫浦與一干式真空幫浦。

6.一種真空產生方法,包括下列步驟:

提供一真空產生裝置;

連接該真空產生裝置至一工作腔體;

運作該真空產生裝置所具有的一第一真空產生部,抽吸該工作腔體內的氣體,使所述氣體進入該真空產生裝置所具有的一閥體,并依序通過該閥體的一進氣腔、一止回閥與一排氣腔后排出;以及

當該進氣腔的氣壓低于一預定值,運作該真空產生裝置所具有的一第二真空產生部,該第二真空產生部透過一旁通管抽吸該進氣腔內的氣體。

7.如權利要求6所述的真空產生方法,其中運作該真空產生裝置所具有的該第二真空產生部,進一步包括,運作該第二真空產生部所具有的一壓縮空氣單元,使該壓縮空氣單元噴射高速氣流以透過該旁通管抽吸該進氣腔內的氣體。

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