[發明專利]加工方法

有效

• 申請號: 201210253593.3
• 申請日: 2012-07-20
• 公開（公告）號: CN102886829A
• 公開（公告）日: 2013-01-23
• 發明（設計）人: 川瀬雅之;生島充
• 申請（專利權）人: 株式會社迪思科
• 主分類號: B28D5/02
• 分類號: B28D5/02;B24B7/22;H01L21/02;H01L21/304
• 代理公司: 北京三友知識產權代理有限公司 11127
• 代理人: 黨曉林;王小東

1.一種加工方法，所述加工方法是使用車刀切削裝置對粘貼于被加工物的保護帶進行平坦化的方法，所述車刀切削裝置具備：保持工作臺，所述保持工作臺具有用于保持被加工物的保持面；車刀輪，所述車刀輪在與所述保持面平行的面內旋轉，對由所述保持工作臺保持的被加工物進行切削；以及移動構件，所述移動構件用于使所述保持工作臺與旋轉的所述車刀輪相對移動，所述加工方法的特征在于，

所述加工方法具備：

保護帶粘貼步驟，在該保護帶粘貼步驟中，將保護帶粘貼至被加工物；

保持步驟，在該保持步驟中，在實施了所述保護帶粘貼步驟之后，以使所述保護帶露出的方式由所述保持工作臺保持被加工物；以及

平坦化步驟，在該平坦化步驟中，在實施了所述保持步驟之后，將旋轉的所述車刀輪定位至預定高度，并且，所述移動構件使所述保持工作臺與所述車刀輪相對移動，由此，利用所述車刀輪對粘貼于被加工物的所述保護帶進行切削來實現平坦化，

在所述平坦化步驟中，將所述車刀輪的轉速設定為線速度在1914m/min.以上。

2.如權利要求1所述的加工方法，其特征在于，

所述加工方法還具備薄化步驟，在該薄化步驟中，在實施了所述平坦化步驟之后，由保持工作臺保持所述保護帶側而形成使被加工物露出的狀態，利用磨削輪對露出的被加工物進行磨削而使該被加工物薄化成預定厚度。