[發明專利]彩色濾光陣列基板及其制造方法

有效

• 申請號: 201210252155.5
• 申請日: 2012-07-20
• 公開（公告）號: CN102768432A
• 公開（公告）日: 2012-11-07
• 發明（設計）人: 趙小虎
• 申請（專利權）人: 深圳市華星光電技術有限公司
• 主分類號: G02F1/1335
• 分類號: G02F1/1335;G02F1/1343;G02F1/1362;H01L21/77;H01L27/12
• 代理公司: 深圳翼盛智成知識產權事務所(普通合伙) 44300
• 代理人: 歐陽啟明

技術領域

本發明涉及液晶顯示面板及其制造方法，尤其涉及一種彩色濾光陣列基板及其制造方法。

背景技術

功能先進的顯示器漸成為現今消費電子產品的重要特色，其中液晶顯示器已經逐漸成為各種電子設備如移動電話、個人數字助理(PDA)、數字相機、計算機屏幕或筆記本電腦屏幕所廣泛應用具有高分辨率彩色屏幕的顯示器。

?傳統的液晶顯示面板是由一彩色濾光基板(color?filter)、一薄膜晶體管矩陣基板(thin?film?transistor?array?substrate,?TFT?array?substrate)以及一配置于此兩基板間的液晶層(liquid?crystal?layer)所構成。然而，此種液晶顯示面板的分辨率(resolution)較差、像素(pixel)的開口率較低，且彩色濾光基板與薄膜晶體管矩陣基板接合時容易有對位誤差(misalignment)。

近年來，更提出了將彩色濾光層直接整合于薄膜晶體管矩陣基板上的彩色濾光層陣列(Color?Filter?on?Array,?COA)基板，將COA基板與另一不具備彩色濾光層的對向基板組立，并于兩基板間填入液晶分子，以形成液晶顯示面板。由于彩色濾光層是直接形成于薄膜晶體管陣列基板上，因此不會產生對位誤差。而且，此種液晶顯示面板可具有較佳的分辨率且其像素的開口率也較高。

現今制作的COA基板的工藝流程是先在基板上完成薄膜晶體管矩陣于一基板上；接著依序形成彩色濾光片、透明導電層和配向膜于該基板上以形成該COA基板。然后，將液晶設置在該COA基板上，并將利用該第一基板周圍設置的封膠將該對向基板與該COA基板黏合以形成液晶面板。

?為了是薄膜晶體管的漏極與該透明導電層導通，需要在覆蓋該漏極上的保護層中蝕刻出一開孔，該透明導電層覆蓋該開孔，使得該透明導電層在該開孔的位置接觸該漏極。然而，為保證液晶面板的顯示效果，彩色濾光片的厚度大約是薄膜晶體管的漏極的厚度的十倍，兩者的高度差會使得該開孔的側壁的傾斜角度趨近90度，不利于該透明導電層沉積在該開孔，也使液晶顯示面板可能存在靜電放電的風險(Electro?Static?Discharge，ESD)。

發明內容

因此本發明針對上述問題，提供一種彩色濾光陣列基板及其制造方法。

本發明提供一種彩色濾光陣列基板的制造方法，其包括下列步驟：提供一透明基板；蝕刻所述透明基板以形成一第一凹槽；沉積一彩色濾光層于所述透明基板上，并蝕刻所述彩色濾光層，以在所述第一凹槽中形成一彩色濾光單元，然后在所述彩色濾光單元之上形成一像素電極；以及形成一薄膜晶體管于所述透明基板之上，使得所述薄膜晶體管連接所述像素電極。

根據本發明的實施例，所述透明基板包括基底及絕緣層，所述蝕刻所述透明基板一形成一第一凹槽具體為：蝕刻所述絕緣層形成所述第一凹槽。

根據本發明的實施例，所述沉積一彩色濾光層于所述透明基板上，并蝕刻所述彩色濾光層，以在所述第一凹槽中形成一彩色濾光單元，然后在所述彩色濾光單元之上形成一像素電極具體為：沉積所述彩色濾光層于所述透明基板上，并蝕刻所述彩色濾光層以在所述第一凹槽中形成所述彩色濾光單元；沉積一間隔層于所述彩色濾光層上；沉積所述透明導電層于所述間隔層上，并蝕刻所述透明導電層，以在所述彩色濾光單元的上方形成所述像素電極。

根據本發明的實施例，形成所述薄膜晶體管的步驟包含：形成一第一金屬層于所述透明基板上，并蝕刻所述第一金屬層，以形成所述薄膜晶體管的柵極；沉積一絕緣層在所述透明基板以及所述柵極上；在所述絕緣層上，沉積一主動層以及一歐姆接觸層；蝕刻所述主動層以及所述歐姆接觸層，以形成所述主動層作為所述薄膜晶體管的通道；在所述歐姆接觸層以及所述絕緣層上沉積一第二金屬層，并蝕刻所述第二金屬層，以在所述歐姆接觸層上形成所述薄膜晶體管的源極與漏極，所述漏極連接所述像素電極；以及在所述源極、漏極、像素電極以及所述絕緣層上沉積一保護層。

根據本發明的實施例，所沉積一彩色濾光層于所述透明基板上，并蝕刻所述彩色濾光層，以在所述第一凹槽中形成一彩色濾光單元，然后在所述彩色濾光單元之上形成一像素電極具體為：沉積所述彩色濾光層于所述透明基板上，并蝕刻所述彩色濾光層以在所述第一凹槽中形成所述彩色濾光單元；形成一第一金屬層于所述透明基板上，并蝕刻所述第一金屬層，以形成所述薄膜晶體管的柵極；沉積一絕緣層在所述透明基板以及所述柵極上，并在所述彩色濾光單元上形成一間隔層；沉積所述透明導電層于所述間隔層上，并蝕刻所述透明導電層，以在所述彩色濾光單元的上方形成所述像素電極。