[發(fā)明專利]用于生產(chǎn)多晶硅用的反應(yīng)器的具有變頻器的供電裝置

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201210250296.3
• 申請日: 2012-07-19
• 公開（公告）號: CN102891610A
• 公開（公告）日: 2013-01-23
• 發(fā)明（設(shè)計）人: P·瓦爾邁爾
• 申請（專利權(quán)）人: 安奕極電源系統(tǒng)有限責(zé)任公司
• 主分類號: H02M5/10
• 分類號: H02M5/10;C01B33/035
• 代理公司: 中國國際貿(mào)易促進(jìn)委員會專利商標(biāo)事務(wù)所 11038
• 代理人: 董華林

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種用于生產(chǎn)多晶硅用的反應(yīng)器的供電裝置，所述供電裝置具有一個變頻器、至少一個用于從供電網(wǎng)接收輸入電流的輸入端和多個輸出端，所述輸入端能與所述供電網(wǎng)連接，所述輸出端分別帶有兩個配設(shè)的用于連接一個或多個負(fù)載的接頭，其中，經(jīng)由每個輸出端能夠給連接在輸出端上的所述一個負(fù)載或連接在輸出端上的所述多個負(fù)載供給輸出電流。

背景技術(shù)

由文獻(xiàn)EP?2?100?851A2已知供電裝置，所述供電裝置包括變頻器并且能夠由單相供電網(wǎng)供給電能。在帶有變頻器的供電裝置上可以連接負(fù)載，例如用于通過根據(jù)西門子法進(jìn)行氣相沉積來生產(chǎn)多晶硅的硅反應(yīng)器的硅棒。

根據(jù)文獻(xiàn)EP?2?100?851A2的圖3示出了，兩個串聯(lián)的負(fù)載各由一個帶有變頻器的供電裝置供給電能，其中，帶有變頻器的各供電裝置分別單相地實施。供電裝置所提供的電流之間的相位為180°。因此，由兩個帶有變頻器的供電裝置提供的電壓在總和中抵消。

在將在本申請的申請日之后公開的、申請?zhí)枮?0?150?728和11?164?316的歐洲申請中描述了帶有變頻器的供電裝置，在所述供電裝置的輸出端上連接有一個帶有一個初級繞組和兩個次級繞組的變壓器。所述兩個次級繞組具有相同的匝數(shù)。但是它們繞向相反。因此，在次級繞組的輸出端上施加數(shù)值相同、但方向相反的電壓。次級繞組彼此相連接，并且該連接形成一個兩相交流電系統(tǒng)的一根中性導(dǎo)線，而次級線圈的其他端部形成該兩相交流電系統(tǒng)的外導(dǎo)線，該兩相交流電系統(tǒng)給所連接的負(fù)載供給電壓。

負(fù)載連接在兩相交流電系統(tǒng)的各一個外導(dǎo)線和中性導(dǎo)線上。

如在文獻(xiàn)EP?2?100?851A2中所描述的那樣連接的兩個帶有變頻器的供電裝置和在申請10?150?728和11?164?316中描述的帶有變頻器的供電裝置的優(yōu)點是，除了借助帶有變頻器的供電裝置給負(fù)載供電之外，還可以同時利用另一供電裝置來進(jìn)行供電，而供電裝置互不影響。這也在文獻(xiàn)EP?2?100?851A2和在申請10?150?728和11?164?316中有所描述。

在文獻(xiàn)EP?2?100?851A2中描述的、具有兩個帶有變頻器的供電裝置的電路的缺點是，為了實現(xiàn)兩相交流電系統(tǒng)而需要兩個變頻器。在申請10?150?728和11?164?316中描述的、帶有變頻器的供電裝置的缺點是，為了實現(xiàn)兩相交流電系統(tǒng)而需要一個特殊的變壓器，該變壓器要求一個初級繞組和兩個反向繞制的次級繞組。

此外，從Dierk的出版號為ISBN?978-3-540-69300-0的教科書《功率電子電路（Leistungselektronische?Schaltungen）》”已知換流器、例如振蕩回路換流器，和AC-AC變換器、例如具有中間電路存儲器的AC-AC變換器或者矩陣變換器，它們基本上適合于提供多相交流電、尤其是三相交流電。然而，在該教科書中卻沒有在應(yīng)用方面對將換流器或AC-AC變流器接在如下供電裝置中進(jìn)行描述，所述供電裝置適合于多晶硅反應(yīng)器并且為多晶硅反應(yīng)器而設(shè)立。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明所要解決的技術(shù)問題在于，如此改善開頭所提及類型的供電裝置，使得所述供電裝置的工作能力更高。

上述技術(shù)問題通過如下方式得以解決，即，所述供電裝置具有一個用于將輸入電流轉(zhuǎn)換成n相的多相交流電的電路，其中，在用于轉(zhuǎn)換的電路的次級側(cè)形成的n相交流電系統(tǒng)的線電壓（也就是說鏈電壓）之間的相位差為360°/n，并且n是大于或等于2的自然數(shù)，所述供電裝置具有n個輸出端，所述輸出端通過如下方式形成一個鏈，即，在所述n個輸出端中存在n-2個這樣的輸出端，為這n-2個輸出端配設(shè)有兩個接頭，所述兩個接頭同時還分別配設(shè)于所述輸出端中的另一輸出端，以及在每個輸出端上施加n相交流電系統(tǒng)的線電壓中的一個電壓。

優(yōu)選地，供電裝置的輸入電流由用于轉(zhuǎn)換的電路轉(zhuǎn)換成多相交流電，所述多相交流電具有至少三相。

通過將通常取自三相交流電系統(tǒng)或者單相交流電系統(tǒng)的輸入電流分配到n相交流電系統(tǒng)上，可以構(gòu)建工作能力更高的帶有變頻器的供電裝置。利用一個根據(jù)本發(fā)明的供電裝置，在同時節(jié)省電路元件的情況下，與由文獻(xiàn)EP?2?100?851A2已知的供電裝置相比，可以給更多數(shù)量的負(fù)載供電。根據(jù)本發(fā)明的供電裝置的另一優(yōu)點在于，可以實現(xiàn)更高的功率因數(shù)。